前載式雙探頭特點詳情

   INFICON 前載式雙晶體探頭提供驗證的可靠性和持久性, 與市場上任何探頭探頭相比, 具有的熱穩(wěn)定性. 雙探
頭提供備份晶體, 在真空室內(nèi)需要第二個晶體的關(guān)鍵過程中是至關(guān)重要的.

    對于從側(cè)面插入無足夠空間的應(yīng)用, 前載式結(jié)構(gòu)易于插入晶體架. 采用機(jī)械裝配代替焊接, 必要時可現(xiàn)場方便地更換
部件. 探頭可單個訂購或訂購探頭 / 法蘭組合, 可選焊接的或直口接頭裝配的結(jié)構(gòu).
探頭配置
前載式雙探頭的標(biāo)準(zhǔn)配置中水管與晶片平行. 當(dāng)*晶體監(jiān)測
沉積速率時, 氣動晶體擋板保護(hù)備份晶體. 擋板是下拉式結(jié)構(gòu),
便于更換晶體. 為有效地消除 RF 干擾, 暴露的晶體電極是全部接地的.
法蘭

    INFICON 提供兩種法蘭, 1" 螺紋法蘭或2¾" （CF40） ConFlat® 法蘭法蘭.
按用戶要求可提供 KF40 法蘭.
法蘭連接
前載式雙探頭可訂購與法蘭的組合. 探頭 / 法蘭連接可采用直口接頭或焊接 （當(dāng)與 1" 螺紋法蘭組合時）. 如需焊
接連接, 必須在訂購前填寫 INFICON 提供的一個探頭長度規(guī)格表. 直口接頭易調(diào)整, 無釬焊或焊接的要求. 法蘭
可沿著管長移動, 對于 "E" 長度探頭, 在真空系統(tǒng)內(nèi)的長度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 （8"- 28"） 的范圍內(nèi)調(diào)整,
對于 "G" 長度探頭. 一旦確定所需長度, 直口接頭可用手指擰緊管密封件.
優(yōu) 點
■ 雙晶體
■ 晶體擋板
■ 前載式晶體支架
■ 如訂購直口接頭的, 可調(diào)節(jié)長度
 ■ 可提供:
- 2.54 厘米（1"） 螺紋法蘭
- CF40 法蘭
■易安裝
■ 如訂購直口接頭的,無需釬焊或焊接至法蘭
■ 可按客戶要求提供特定長度焊接的探頭/ 法蘭組合.
探頭 1 探頭2 探頭1
探頭2
前載式雙傳感器2
DL –
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訂購資料
前載式雙探頭 （帶真空內(nèi)電纜）
探頭型號 （包括真空內(nèi)電纜, 晶體抓住器和用戶手冊. 晶
體單獨(dú)銷售）
雙探頭 （水管與晶片平行）
帶擋板…................................................................................... A
探頭長度– 見注1 和注3
標(biāo)準(zhǔn)長度 – 203 毫米（8"） 至 711 毫米（28"） 包括兩根
781 毫米 （30.75"） 真空內(nèi)電纜. 見注6 ................................................ E
延伸長度– 大于 711 毫米（28"）; zui大1219 毫米 （48"）
包括 1524 毫米 （60"） 真空內(nèi)電纜.
見注 6 .................................................................................................... G
法蘭
無............................................................................................................ 0
2.54厘米（1"） 螺紋....................................................................... 3
CF40....................................................................................................... 4
法蘭連接
探頭未連接法蘭 ...................................................................... 0
探頭焊接至法蘭 ..................................................................... 7
可變長度帶 Ultra-Torr 直口接頭. （使用直口接頭使
探頭長度可變） ........... 8
未提供下列組合 （見注4 和 5）: DL-AE47, DL-AG47