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    主要利用輝光放電(glowdischarge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,靶材的原子被彈出而堆積在基板(substrate)表面形成薄膜。濺鍍薄膜的性質、均勻度都比蒸鍍薄膜來的好,...
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