氦質譜檢漏儀，是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度zui高，使用zui普遍的檢漏儀器。
氦質譜檢漏儀的應用：
元件檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于的結果，快速啟動，移動性和系統的可靠性。
半導體工藝設備的維護，該設備本身帶或未帶有真空泵
工藝氣體系統的檢測與安裝
元器件在組裝前的漏率測試
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合
氦質譜檢漏儀的原理：
氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中zui常用的兩種方法。
