干泵的組成及原理：
美國ELIVAC的ESCD系列無油渦旋真空泵由泵頭、電機和機座構成。泵頭含有動、定渦旋盤、曲軸、密封件、風扇和泵殼組成。渦旋盤為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開線螺旋盤壁組成，定渦旋盤與動渦旋盤組成渦旋盤構成無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。工作過程中動、定渦旋盤互不接觸，依靠相對運動形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過吸氣、壓縮、排氣的循環使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，實現對被抽腔體抽真空。
干泵的應用領域：
真空封裝、存儲。
真空爐。
排氣臺。
烘箱、冷凍干燥
氣體回收、再循環。
制冷、空調管路抽真空。
制動、管路抽真空。
激光抽真空。
分子泵前級。
工藝預抽真空。
鍍膜。
檢漏。
手套箱。
質譜儀。
電子顯微鏡。
高能束線、加速器。
高真空試驗臺。
樣品制備。
美國ELIVAC的ESCD系列無油渦旋真空泵特點：
工作可靠。
ESCD系列無油渦旋真空泵在半導體、航空航天、石油化工、食品藥品、電力、能源、環保、汽車、分析測試儀器等行業生產線上常年連接運行，穩定可靠。為各行業生產和科學研究用戶信賴。
性能。
對被抽系統無油污染，創造潔凈的真空環境。
噪音低，振動小，溫升低，密封材料性能優異、壽命長達5年，可可耐用。
排氣機構部件互不接觸，無摩擦，效率高；沒有返油與水蒸汽，不噴油，節能環保。
極限壓力低至1Pa以下，可替代油旋片真空泵。
性價比高。
價格合理，節省采購成本。
運動件無摩擦能耗低，配件質優價廉，服務及時可靠，節省運行成本。
不需要冷卻水和潤滑油，不需要日常維護，節省人工費用。
