上海翰軍實驗設備有限公司
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<ul id="qqie6"></ul> 上海翰軍實驗設備有限公司
一、設計原則系統由一臺長4.8米X寬0.85米單面五工位真空手套箱操作系統對接一臺300℃高溫加長管式爐，通過高真空法蘭對接高真空凈化手套箱，并配有氟膠圈密封爐蓋以保證物料不外泄，整個爐體外圍實現全封閉，結構合理，外形美觀
系統由一臺長4.8米X寬0.85米單面五工位真空手套箱操作系統對接一臺 300℃高溫加長管式爐，通過高真空法蘭對接高真空凈化手套箱，并配有氟膠圈密封爐蓋以保證物料不外泄，整個爐體外圍實現全封閉，結構合理，外形美觀。極限真空0.1Pa。整套系統采用PLC控制，實現整個過程全自動操作。
整個操作系統廢氣均通過管式排風空氣凈化裝置處理后排到通風櫥內，防止廢氣直接排放到實驗室內對研究人員造成傷害。
二、 主要參數：
氫指標：小于10 ppm；
泄露率：小于0.05vol%/h；
2.1手套箱技術指標：
1）手套箱箱體
l 箱體：
材料：304 不銹鋼，厚度 3mm
內表面：不銹鋼拉絲處理
外表面： 噴漆，白色
內部尺寸： 長度：4800mm
深度：850mm；高度：900mm
l 前窗： 傾斜的視窗，透明鋼化安全玻璃，厚度8 mm
l 手套口：材料為聚甲醛，O型圈密封
l 手套： 丁基橡膠， 厚度0.4mm ，直徑 8"，長度32"
l 過濾器 ： 規格 0.3 微米，1個氣體入口和1個氣體出口
l 擱物架： 不銹鋼材料，內置2層
l 箱體照明：LED燈，安裝在每塊玻璃窗前上方
l 接口： 備用接口3個， DN 40 KF，需要增加接口，可另外注明，
電源接口 1 個 （220V）
2) 小過渡艙
l 過渡艙
尺寸直徑 150mm，長度300mm，進入手套箱部分長度100 mm
材料：304 不銹鋼
表面：內表面為拉絲處理，外表面噴漆（白色）
l 附件
艙門：雙門，螺紋鎖緊
壓力表：模擬顯示
l 控制
手動閥手動操作
l 循環系統
工作氣體：氮氣、氬氣
循環能力：集成風機流量90m3/h，加裝變頻
l 再生
操作：PLC自動控制再生過程
再生氣體：工作氣體與氫氣混合氣體，(氫氣5-10%)
l 真空泵
規格：12m3 /h，旋片泵，帶油霧過濾器 ，氣振控制
l 閥門
主閥：DN 40 KF ，電氣動角閥
控制閥：電磁集成閥
5）控制系統：
l 功能：包括自診斷、斷電自啟動特性，具有壓力控制和自適應功能；自動控制、循環控制、密碼保護；單元控制采用西門子PLC觸摸屏。
l 壓力控制： 控制箱體、過渡艙的壓力，箱體工作壓力+/- 10mbar內可以自由設定，超出+/- 12mbar系統自動保護；
l 腳踏板： 控制箱體壓力，方便操作升壓和降壓
6）顯示系統：采用西門子PLC 觸摸屏，顯示運行狀態，箱體壓力、系統記錄等
7）真空系統控制情況
英國EDWARDS 真空泵，可手動或通過PLC啟動，流量12m3/h ，可對過渡艙抽真空，并保持箱體壓力平衡，真空泵極限真空度≤3x10-1pa
8) 其他配件
l 氫分析儀
測量范圍： 0～500ppm
氫變送器采用電化學傳感器為測量單元，經過對傳感器信號放大、濾波、線性化修正、標準 信號輸出等電氣處理后，通過微處理器計算出樣氣中的氫氣濃度值，并輸出模擬信號（標配 4-20mA）供用戶 對氫氣信號的二次處理。
二、加熱部分
1. 采用多段智能化程序溫控，保證恒溫區長度為4500mm，溫度均勻性為±3℃
2. 加熱元件采用優質電阻絲，
3. 保溫層為進口氧化鋁多晶體纖維板，
4. 設備的功率為40KW，控制電源為380V 50-60HZ，
5. 爐膽直徑為150mm。
*316L不銹鋼爐管
1. 材質316L不銹鋼管，使用溫度低于750℃，直徑100*長度7000mm，壁厚8mm；
2.內置滑軌/料架方便無聊取出，滑軌與料架的材質為耐高溫合金鋼；
3. 爐管采用法蘭式密封，
4. 爐管預留與手套箱對接法蘭，采用氟膠圈密封，
5. 出口單獨連接除氫裝置，與真空泵接口分開；
6. 與真空泵鏈接采用KF40的快速接口；
7. 法蘭密封部分采用水冷裝置進行冷卻；
*采用PLC 觸摸屏自動化控制
觸屏PLC模塊實現自動控制和程控加熱功能超溫和冷卻水斷流報警
CTS7-200系列具有以下幾個方面的出色表現：
的可靠性
豐富的指令集
極快的浮點運算速度
豐富的擴展模塊
強大的內部集成功能
CTS7-200系列在集散自動化系統中充分發揮其強大功能。使用范圍可覆蓋從替代繼電器的簡單控制到更復雜的自動化控制。
*機械真空泵真空系統、
飛越真空VRD-30機械泵，抽速30m3/h，極限真空度0.05Pa。電源：50/60Hz,380V,功率0.4KW
PPG800壓阻皮拉尼復合型規管，是特別為制造單晶硅使用氮氣/氬氣的真空設備開發的新型壓阻電阻復合真空計，也非常適用于使用各種不同氣體甚至混合氣體的各種場合。
適合于各類氣體或甚至于混合氣體的場合
小型化設計，省電節能
的溫度補償技術使得測量具有長期的穩定性
全量程不用顧慮氣體種類的影響
壓阻和皮拉尼自動對接
一鍵式零點滿量程快速校正按鈕，瞬間修復誤差
RS485串口通訊，3個通訊速率可選，99個從機地址可選
輸出電壓滿量程可選
符合RoSH標準，獲得CE認證
產品用途：半導體、電子元件的各種制造設備的中低真空的壓力測量和控制
真空爐、冷凍干燥、真空冶煉、真空鍍膜等各種制造設備的中低真空系統的壓力測量和控制
各類真空排氣系統，科研開發設備的中低真空系統的壓力測量和控制
技術參數：測量范圍： 1.0×10-3～1.33×105Pa
測量精度： 1.33×102～1.33×105Pa ±0.15%的滿量程
1.0×10-2～1.33×102Pa ±10%的讀數
1.0×10-3～1.33×10-2Pa ±20%的讀數
通訊速率： 9600/19200/38400bps
從機地址： 00-98
電壓輸出： 滿量程5V或10V可選
轉換公式： V=4+lg P P=10V-4 (V:電壓，P:壓力Pa)
氣體類別選擇：0.20～8.00
安裝方向： 任意無限制
電源電壓： 18～30VDC
電源功率： 1.4W(開機時2W)
外型尺寸（含規管）：48×30×68(93)mm
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