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    充氦真空系統
    
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								更新時間：2025-01-11 08:31:25瀏覽次數：58次
							
    
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    充氦真空系統主要用于氦光泵磁力儀組件制備時的抽真空、除氣和充氣，是八工位、無油超高真空系統。應用于磁傳感器領域的科學研究。
    
				
    
				
    
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    應用領域
      
        充氦真空系統主要用于氦光泵磁力儀組件制備時的抽真空、除氣和充氣，是八工位、無油超高真空系統。應用于磁傳感器領域的科學研究。
      
    技術性能
      
       
    1. 設備為雙真空系統；
      2.  
    2. 常溫、空載狀態：工位極限真空度進入10-9Pa量級；鐘罩極限真空度5×10-2Pa；
      3.  
    3. 系統靜態真空度：5分鐘內優于5×10-5Pa，20分鐘內維持在10-5Pa量級；
      4.  
    4. 工位接口數量：8工位，圓周分布；
      5.  
    5. 采用真空鐘罩對工件進行烘烤，鐘罩加熱溫度500℃，工作溫度200℃，控溫精度±1℃；鐘罩升溫速率0.2~6℃/min。
      6.  
     
                                  
                                                                                                                                                                                    
                                                                     
                                         
                                                                                 
                                     
                                                                     
                                 
                                                 
			        
    
			    
    
                			    
    關鍵詞：傳感器
    
                                                				
    
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