上海浦量元精密機電有限公司
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高精度的光學元件和光學系統需要高性能的測量技術和方法
Verifire™ ATZ激光干涉儀
Ring of Fire™點光源是Verifire™ AT激光干涉儀獲取清潔圖像的基礎，傳統的激光干涉儀用的是相干點光源，在測試腔中形成相干光。但是，點光源在光路中遇到細小顆粒時同時也會產生寄生的干涉條紋（牛眼環）。的Ring of Fire™光源系統是只對光學腔產生干涉，而將干涉腔外的細小顆粒產生的干涉條紋遏制，整個干涉儀的性能得到增強，所測量的性能得到增強，所測量的結果更令人信服。
高精度的光學元件和光學系統需要高性能的測量技術和方法，不僅需要具備高速操作簡單和長期穩定的檢測設備和方法，同時更需要更高精度產品檢測的需求。ZYGO Verifire™激光干涉儀做開創的Ring of Fire™光源技術，消除了長期困擾的“牛眼環"所帶來的測量上的影響，將測量精度提高到一個新的臺階，同時配備ZYGO自主開發的Metropro軟件，以及與傳統激光干涉儀互配的各種附件，真正使Verifire™激光干涉儀在高速、簡易和穩定基礎上達到新的高度。可以說，ZYGO Verifire™激光干涉儀不僅是新一代的激光干涉儀，更是一次新的干涉測量技術的ge命。
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