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    NE-PE60F等離子體表面處理設(shè)備

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    產(chǎn)品型號(hào)

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地深圳市

    聯(lián)系方式:王俊麗查看聯(lián)系方式

    更新時(shí)間:2023-05-24 07:38:20瀏覽次數(shù):213次

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    經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

    商鋪產(chǎn)品:33條

    所在地區(qū):廣東深圳市

    聯(lián)系人:王俊麗 (市場(chǎng)專(zhuān)員)

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介:等離子體表面處設(shè)備是利用等離子體中的能量粒子和活性粒子與高分子表面發(fā)生作用,以達(dá)···

    詳細(xì)介紹

    NE-PE60F等離子體表面處理設(shè)備由供氣控制單元、真空室、射頻等離子發(fā)生器、匹配器、真空泵等部分組成,本處理機(jī)采用電容耦合的內(nèi)部電極放電結(jié)構(gòu)。當(dāng)上電極接入射頻功率時(shí),上下電極之間交替發(fā)射的電子,經(jīng)過(guò)電場(chǎng)加速之后撞擊低真空環(huán)境中的氣體分子。氣體分子由于受到高速電子的撞擊而發(fā)生電離。射頻放電是一種在低溫低氣壓狀態(tài)下的放電技術(shù),使用射頻放電可獲得電離度與密度較大的等離子體。

    產(chǎn)品參數(shù):

    產(chǎn)品型號(hào)NE-PE60F等離子體表面處理設(shè)備
    功率500W/1000W(可選)
    頻率13.56MHz(自動(dòng)阻抗匹配)
    腔體材質(zhì)316 鏡面不銹鋼
    腔體容積60L
    腔體尺寸400(W)*450(D)*370(H)mm
    電極板數(shù)量6層
    氣路數(shù)量2路工藝氣體通道,可自由選擇各種工藝氣體
    工作真空度<30Pa
    外形尺寸900mm(L)×960mm(W) ×1750 mm(H)

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    ?不銹鋼托盤(pán)設(shè)計(jì),可調(diào)節(jié)托盤(pán)間距

    ?8K鏡面不銹鋼腔體,密封性

    ?13.56射頻等離子發(fā)生器,產(chǎn)生高密度等高子體,確保出眾的清洗效果;

    ?直觀的觸摸屏,過(guò)程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。

    ?方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過(guò)程中使用的要求

    ?支持各種工藝氣體,包括氬氣,氧,氫,氦和氟化氣體

    ?通過(guò)聯(lián)鎖門(mén)或可移動(dòng)的板

    ?高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng),兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣),雙路氣流控制,比例可調(diào),采用高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(MFC)、針閥、美國(guó)世維洛克氣體管路。

    等離子體表面處理原理:

    等離子體表面處理設(shè)備是利用等離子體中的能量粒子和活性粒子與高分子表面發(fā)生作用,以達(dá)到改變表面成分的目的。對(duì)塑料、纖維、高分子薄膜等能有效地改善其表面特性以適合各種用途。無(wú)論惰性氣體等離子體還是活性氣體等離子體的表面處理都能有效地使高分子材料表面層產(chǎn)生大量自由基,在經(jīng)等離子體活化而生成的表面自由基位置,能進(jìn)一步加成特定官能團(tuán)。高分子表面的等離子體處理主要包括以下幾方面內(nèi)容。用He、Ar和H2等惰性氣體等離子體對(duì)高分子表面進(jìn)行轟擊,使其表面產(chǎn)生緊密的交聯(lián)層;用O2、N2、CO、CO2和H2O等活性氣體等離子體與材料表面發(fā)生作用,以改變材料表面的化學(xué)成分;在高分子表面進(jìn)行等離子體接枝;在高分子表面沉積超薄的等離子體聚合膜;高分子表面圖案化及自組裝。

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