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    上海全耀儀器設(shè)備有限公司


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    MProbe系列薄膜測(cè)厚儀

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    更新時(shí)間:2021-10-26 22:02:33瀏覽次數(shù):163次

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    MProbe系列薄膜測(cè)厚儀

    詳細(xì)介紹

      當(dāng)一束光入射到薄膜表面時(shí),薄膜上表面和下表面的反射光會(huì)發(fā)生干涉,干涉的發(fā)生與薄膜厚度及光學(xué)常數(shù)等有關(guān),反射光譜薄膜測(cè)厚儀就是基于此原理來測(cè)量薄膜厚度。

      反射光譜干涉法是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量技術(shù)。

      測(cè)量范圍: 1 nm - 1 mm

      波長(zhǎng)范圍: 200 nm -8000 nm

      光斑尺寸:2mum -3 um

      產(chǎn)品特點(diǎn):

      a. 的測(cè)量精度:0.01nm或0.01%

      b. 準(zhǔn)確度:1nm或0.2%

      c. 穩(wěn)定性:0.02nm或0.02%

      d. 強(qiáng)大的軟件材料庫(kù),包含500多種材料的光學(xué)常數(shù)

      e. 通過Modbus TCP或OPC協(xié)議,與其他設(shè)備聯(lián)用

      適用于實(shí)時(shí)在線測(cè)量,多層測(cè)量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(kù)(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等


      大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅),半導(dǎo)體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

      標(biāo)準(zhǔn)配置中包含:

      1. 主機(jī)(光譜儀,光源,電線)

      2. 反射光纖

      3. 樣品臺(tái)及光纖適配器

      4. TFCompanion軟件

      5. 校準(zhǔn)套裝

      6. 測(cè)試樣品,200nm晶圓

      廣泛的應(yīng)用于各種工業(yè)生產(chǎn)及工藝監(jiān)控中:

      半導(dǎo)體晶圓,薄膜太陽能電池,液晶平板,觸摸屛,光學(xué)鍍膜,聚合物薄膜等



    多種型號(hào)可選,每個(gè)型號(hào)對(duì)應(yīng)不同的測(cè)量范圍:



     測(cè)量n和k值,其厚度范圍需在25納米和5微米之間

      還有其他配置可供選擇

      提供OEM和客戶定制化服務(wù)

      保修期1年


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