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    上海全耀儀器設備有限公司


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    MProbe系列薄膜測厚儀

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    具體成交價以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)其他

    所  在  地

    聯(lián)系方式:黃先生查看聯(lián)系方式

    更新時間:2021-10-26 22:02:33瀏覽次數(shù):162次

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    經(jīng)營模式:其他

    商鋪產(chǎn)品:12條

    所在地區(qū):

    聯(lián)系人:黃先生

    產(chǎn)品簡介

    MProbe系列薄膜測厚儀

    詳細介紹

      當一束光入射到薄膜表面時,薄膜上表面和下表面的反射光會發(fā)生干涉,干涉的發(fā)生與薄膜厚度及光學常數(shù)等有關(guān),反射光譜薄膜測厚儀就是基于此原理來測量薄膜厚度。

      反射光譜干涉法是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術(shù)。

      測量范圍: 1 nm - 1 mm

      波長范圍: 200 nm -8000 nm

      光斑尺寸:2mum -3 um

      產(chǎn)品特點:

      a. 的測量精度:0.01nm或0.01%

      b. 準確度:1nm或0.2%

      c. 穩(wěn)定性:0.02nm或0.02%

      d. 強大的軟件材料庫,包含500多種材料的光學常數(shù)

      e. 通過Modbus TCP或OPC協(xié)議,與其他設備聯(lián)用

      適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等


      大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(硅,單晶硅,多晶硅),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂層(碳化硅,類金剛石炭),聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

      標準配置中包含:

      1. 主機(光譜儀,光源,電線)

      2. 反射光纖

      3. 樣品臺及光纖適配器

      4. TFCompanion軟件

      5. 校準套裝

      6. 測試樣品,200nm晶圓

      廣泛的應用于各種工業(yè)生產(chǎn)及工藝監(jiān)控中:

      半導體晶圓,薄膜太陽能電池,液晶平板,觸摸屛,光學鍍膜,聚合物薄膜等



    多種型號可選,每個型號對應不同的測量范圍:



     測量n和k值,其厚度范圍需在25納米和5微米之間

      還有其他配置可供選擇

      提供OEM和客戶定制化服務

      保修期1年


    關(guān)鍵詞:測厚儀 標準 光譜儀
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