詳細(xì)摘要: 一、產(chǎn)品介紹 濺射薄膜式壓力傳感器:敏感元件采用濺射工藝以分子鍵合的方式制作出“微米"級(jí)的電阻膜,經(jīng)過MEMS技術(shù)組成全金屬型敏感元件,無任何粘貼劑和活動(dòng)件,...
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