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M3030V(2022)高壓氣體質量流量控制器是M3030V(2003)氣體質量流量控制器的升級型號,它縮小了PCB的尺寸,更換新的傳感器(SENSOR).提升了穩定性.耐高壓，工作壓力廣＜90Bar.M3030V(2003)是韓國LineTech于2003年研發出來的一款模擬式(電子信號控制方式為Analog Type)氣體質量流量控制器.是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩流裝置,能......
? M3030V(2022)氣體質量流量控制器,是M3030V(2003)氣體質量流量控制器的升級型號,它縮小了PCB的尺寸,更換新的傳感器(SENSOR).提升了穩定性.
M3030氣體質量流量控制器，是韓國LineTech于2003年研發出來的一款模擬式（電子信號控制方式為Analog Type）氣體質量流量控制器。是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩流裝置，能在較寬的量程范圍內快速而精確地控制氣體流量。即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微的變化，也不會影響其正常的工作。原則上不需要溫度和壓力補償。
M3030系列模擬式氣體質量流量控制器可以將氣體流量測量值以輸出標準電信號（輸入輸出信號為 0-5V 或 4-20mA）輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示、累計流量自動計量、數據自動記錄、電腦管理等，還可以實現流量的自動控制。所以，我們根據輸入輸出信號的不同，把它劃分為M3030V和M3030A兩個規格。
M3030系列有很寬的工作壓力范圍，產品可以從真空直到9MP；以使用多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如、三氯化硼、、氟化氫等等）；有很寬的流量范圍，產品Min流量范圍可達 0~10sccm ，Max流量范圍可達 0~30slpm 。流量控制范圍3~99%F.S（滿量程）
| 原產地： | 韓國 （） |
商品名稱：氣體質量流量控制器 型號：M3030V 模擬氣體質量流量控制器 量程范圍（N2）：0.01~30slpm Min流量：0.3-10 sccm Max流量：0.9-30 slpm SCCM單位：標準毫升/分鐘 SLPM單位：標準升/分鐘 精確度：±1% of FS 重復性：±0.25% 輸入輸出信號：0-5Vdc 供電：+15~+24Vdc，350mA 工作壓力：＜90Bar 工作溫度范圍：0~50℃ 漏率：1×10-9atm.cc/sec 控制量程:3~99% 通訊：無 |
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| 產品特點： | 尺 寸 圖 |
? 高精度質量流量測量 ? 可靠的質量流量輸送 ? 精度高±1%FS ? 響應時間＜2秒 ? 一致的可重復性0.25% ? 緊湊型流量控制系統 ? 相對不受來流溫度和壓力波動的影響 |
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提供常見選型參數：
| 型 號 | 電壓信號 | 電流信號 | 氣體類型 | 流量范圍 | 供 電 | 工作壓力 | 密封材質 |
| M3030 | V | A | 0~10 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | |
| V | A | 0~20 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~30 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~50 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~100 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~200 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~300 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~500 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~1000 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~2 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~3 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~5 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~10 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~15 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~20 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~30 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 |
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