規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質量流量控制器, 適用于 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質量流量控制器, 適用于 200slm N2 標稱流量.
概要
質量流量計是半導體制造設備中非常關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內*超過35%*1的流量計生產(chǎn)商, 長期以來始終如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產(chǎn)品。現(xiàn)在，手攜全新的技術，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實現(xiàn)了全新的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉換。客戶可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外，藉由產(chǎn)品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產(chǎn)品的設計要求，為客戶提升產(chǎn)品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多驚喜。正見證著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質量流量計的誕生。
*1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
*2 復合氣體、復合流量功能。
特征
- 高精度：設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術保證在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標準的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數(shù)據(jù)。 - 高速響應
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，保證任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應。 - 復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。
