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66次阿爾卡特ATP400渦輪分子高真空泵的泵送速度為每秒80升(l/s)。阿爾卡特5080渦輪分子泵進口是lf100與ISO KF-25排氣法蘭。阿爾卡特5080渦輪分子泵可用于所有通用的高真空應(yīng)用。
阿爾卡特MDP/PTM/TMP/ ATS/ PM系列分子泵：MDP5004DET、MDP5006、MDP5010、MDP5011、MDP5011CP、MDP5030、MDP5030CP、MDP5080、MDP5081、MDP5100、MDP5150、MDP5150CP、MDP5153、MDP5400、MDP5400CP、MDP5401、MDP5401CP、MDP5402、MDP5402 CIS、MDP5402CP、MDP5804、MDP5900、MDP5900CP、PTM5081、PTM5101、PTM5400、PTM5100、PTM5153DET、PTM5154、TMP5081、TMP5081CP、TMP5081CP IS、ATS100、ATS200、PM 5010 TMP5081CP TMP5081CP_TMP5081CP IS等 ATP 80
ATP150 ATP400 ATP500 ATH20/40 ATH300 ATH1000 ATH1600 MDP5011 MDP5080 MDP5101 MDP5150 MDP5400 MDP5401 MDP5402
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