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    上海華械自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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    5400系列 強(qiáng)腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量計(jì)

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    更新時(shí)間:2025-07-28 14:15:30瀏覽次數(shù):167次

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    經(jīng)營(yíng)模式:代理商

    商鋪產(chǎn)品:118條

    所在地區(qū):上海上海市

    聯(lián)系人:須工 (銷售經(jīng)理)

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m3/s以下

    詳細(xì)介紹

    性能參數(shù)

    5400質(zhì)量流量控制器

    量程(N2)

    10SCCM-20SLPM(另外50SLM,)

    精度

    ±1.0%FS

    重復(fù)性

    ±0.2%FS

    響應(yīng)時(shí)間

    1秒以內(nèi)

    耐壓

    1.0Mpa

    進(jìn)口壓力

    O.3Mpa

    動(dòng)作壓差

    0.05-0.3Mpa

    泄漏率

    1*10-11pa·m3/s以下

    溫度范圍

    5-45

    濕度范圍

    10-90%RH(不能結(jié)露)

    材質(zhì)

    本體SUS316L

    密封圈SUS316L、PTFE

    電氣接口

    DB9

    模擬信號(hào)

    0-5V輸入/輸出

    供電

    +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

    管路連接

    標(biāo)配1/4UJR

    選配1/8UJR

    重量

    約1000g


    電氣連接

    針腳/顏色

    定義

    1針腳/棕色

    閥門全開/全閉

    2針腳/白色

    0-5V輸出

    3針腳/紅色

    +15VDC

    4針腳/黑色

    電源COM

    5針腳/黃色

    -15VDC

    6針腳/灰色

    0-5V輸入

    7針腳/綠色

    輸出COM

    8針腳/蘭色

    輸入COM

    9針腳/紫色

    閥門電源輸出


    壓損、管路接口
    使用注意

    一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

    二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

    三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

    四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口壓力3公斤。

    五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。

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