質量流量控制器 SFC5300
優化了成本，尺寸緊湊的控制器（可大批量生產）
SFC5300質量流量控制器以優異的精度、長期穩定性和可重復性測量和控制質量流量。它擁有緊湊的尺寸和出色的動態測量范圍。SFC5300的外殼由金屬制成。SFC5300質量流量控制器向下安裝連接，有兩個數字接口。SFC5300是SFC5400質量流量控制器變形版，適用成本敏感的大批量OEM項目。
與所有Sensirion傳感器一樣，SFC5300質量流量計的突出表現依賴創新的CMOSens® 技術，在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器技術與電子處理電路。配合優質材料，SFC5300可實現持久穩定、快速和高度精確的流量測量。
SFC5300質量流量控制器也提供無閥版本SFM5300。SFC5300和SFM5300具有相同性能特性，可理想地組合在類似應用當中。在SFM5300網站，您可以找到關于質量流量計的更多信息和詳細規格。
對于大批量的項目，我們可根據您的具體要求調整或開發您需要的質量流量控制器。了解更多關于定制解決方案信息。
性能參數
- 超低流量測量時的高精度（＜ 1sccm）
- 出色的長期穩定性和可靠性
- 無老化效應
- 寬動態范圍（量程比1000:1）
- 多氣體配置
- 于CMOSens®技術的*性價比
- 尺寸緊湊
應用
- 分析儀器 （如氣相色譜、質譜、熱分析）
- 科研 （如、）
- 工業過程自動化 （如涂覆、熱處理）
- 半導體行業 （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
下載中心
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