質量流量控制器 SFC5400
針對多種應用的多功能控制器
SFC5400質量流量控制器以優異的精度、長期穩定性和可重復性測量和控制質量流量，覆蓋寬動態測量范圍。SFC5400可高度配置，其外殼由金屬制成。此外，流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件，測量50 sccm到200 slm的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉換成99%校準和經溫度補償的數字信號。多氣體校準可存儲在單個器件上。此外，流量控制器還可檢查激活的氣體校準與實際氣體是否匹配。SFC5400的通用性使之成為了工業和醫療應用的理想解決方案。
SFC5400質量流量控制器與所有傳感器產品一樣，依賴創新的CMOSens® 技術，在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件及模擬和數字處理電路，可保證優異的性能。配合優質材料，SFC5400可實現持久穩定、快速和高度精確的流量控制。
SFC5400質量流量控制器也提供無閥版本。SFM5400質量流量計與質量流量控制器具有相同性能特性，可用在類似應用當中，SFC5400和SFM5400可組合在一起。在SFM5400網站，您可以找到關于質量流量控制器的更多信息和詳細規格。
對于大批量的項目，我們可根據您的具體要求調整或開發您需要的質量流量控制器。了解更多關于定制解決方案信息。
性能參數
- 超快速氣體流量控制（穩定時間＜100 ms）
- 超低流量測量時的高精度（＜ 1sccm）
- 出色的長期穩定性和可靠性
- 無老化效應
- 寬動態范圍（量程比1000:1）
- 多氣體配置
- 高配置
- 源于CMOSens®技術的*性價比
- 數字和模擬接口
- 靈活機械連接選項：向下安裝、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
- 如有需要，可提供定制版本
應用
- 分析儀器 （如氣相色譜、質譜、熱分析）
- 科研 （如、）
- 工業過程自動化 （如涂覆、熱處理）
- 半導體行業 （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
下載中心
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