北京德朗電子技術開發有限公司
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8200系列高精度硅諧振壓力傳感器
8000系列是GE采用世界前沿的TERPS技術而研發出的產品。TERPS是溝槽刻蝕硅諧振壓力傳感器技術，和現有的壓力測量技術相比。它可提供更高等級的精度和穩定性。此外，TERPS技術還將壓力量程擴展到更高的范圍，并通過引入真正的介質隔離結構極大程度地提高了傳感器對惡劣環境的適用性。
除了擁有TERPS技術的性能和制造工藝外，8000系列產品傳感器可為高精度、高穩定性的壓力測量提供無二的解決方案。
特點
高精度，全補償溫度范圍內±0.01%FS
高穩定性±100ppm FS/ S
最寬溫度范圍，-40°C 125°C
介質隔離結構可選，尤其適用于苛刻環境
多種輸出信號可選，RS232或RS485或頻率（TTL）輸出
多種壓力接口和電氣連接可選
8200/8300
7MPa
過壓
1.5×FS
2×FS
破壞壓力
2.0×FS
封堵壓力
700kPa
7MPa
700kPa
7MPa
20MPa
性能指標
性能指標有兩個等級可選：標準級和提高級
以下精度指標包含非線性、遲滯、重復性的綜合影響以及全補償溫度范圍內的溫度影響
對于頻率輸出模式，上述精度可通過隨傳感器提供的多項式曲線擬和算法及相應系數計算得到。
補償溫度范圍
多種補償溫度范圍可選
-10°C~+ 50°C -10°C ~+50°C
-40°C ~+ 85°C -40°C~+85°C
-40°C ~+125°C
溫度影響
所有溫度已包含在精度指標內
長期穩定性
標準級：±0.02%FS/年
提高級：±0.02%FS/年
注：除非另有說明，上述指標均在以下參考條件下獲得25°C±5°C
加速度影響
<0.02kPa/g
• 8000/8100
<0.005kPa/g
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