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    翌穎科技(上海)有限公司


    P-170 臺階儀

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    具體成交價以合同協議為準

    產品型號P-170

    品       牌

    廠商性質經銷商

    所  在  地上海

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    更新時間:2024-09-23 07:34:52瀏覽次數:186次

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    經營模式:經銷商

    商鋪產品:48條

    所在地區:上海上海市

    聯系人:銷售 (銷售)

    產品簡介

    P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業的P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統提供了極低的擁有成本,適用于半導體,化合物半導體和相關行業。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超......

    詳細介紹


    P-170 Stylus Profiler





      P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能,適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170具有的圖案識別算法、增強的光學系統和的平臺,這保證了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求。


    產品描述

      P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將行業的P-17臺式系統的測量性能和經過生產驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結合。 這樣的組合為機械傳送臂系統提供了極低的擁有成本,適用于半導體,化合物半導體和相關行業。 P-170可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。


       該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。


    主要功能

    •       臺階高度:幾納米至1000μm

    •       微力恒力控制:0.03至50mg

    •       樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

    •       視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機

    •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

    •       軟件:簡單易用的軟件界面

    •       生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

    •       晶圓機械傳送臂:自動加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍寶石)樣品


    主要應用

    •       臺階高度:2D和3D臺階高度

    •       紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

    •       形狀:2D和3D翹曲和形狀

    •       應力:2D和3D薄膜應力

    •       缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌


    工業應用

    •       半導體

    •       化合物半導體

    •       LED:發光二極管

    •       MEMS:微機電系統

    •       數據存儲

    •       汽車

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