納米線性定位器SLC-17系列是高精度線性納米定位器,具有不同的寬度和高度,非常適合微納定位系統(tǒng)使用,具有可靠的穩(wěn)定性和*的定位精度。這些線性定位器還具有非磁性材料類型,能夠兼容10^-11mbar真空環(huán)境。
納米線性定位器SLC-1720系列具有緊湊的結構和微小的外形尺寸,可以植入位置傳感器從而更好地勝任微納定位任務.
納米線性定位器SLC-1720系列產(chǎn)品都能達到
blocking force FB > 3.5 N, 力FN~30 N,Lift force FL>11.5N,速度達到20mm/s。
納米線性定位器SLC-17系列規(guī)格參數(shù)| 型號 | SLC-1720 | SLC-1730 | SLC-1740 | SLC-1750 | SLC-1760 | SLC-1770 | SLC-1780 |
| 分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm |
| 負載 | 20N(2kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) | 30N(3kg) |
| 適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
| 行程范圍 | 12mm（+/-6mm) | 12mm（+/-6mm) | 26mm（+/-13mm) | 31mm（+/-± 15.5mm) | 41mm（+/-± 20.5mm) | 46mm（+/-± 23mm) | 51mm（+/-± 25.5mm) |
| 步進1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
| 掃描范圍 | >1.5um | >1.5um | >1.5um | >1.5um | >1.5um | >1.5um | >1.5um |
| 掃描分辨率 | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm | <1nm |
| 速度 | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s | >20mm/s |
| 頻率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
| 阻尼力Fb | >3.5N | >3.5N | >3.5N | >3.5N | >3.5N | >3.5N | >3.5N |
| 正向力Fn | 20N | 30N | 30N | 30N | 30N | 30N | 30N |
| 升力Fl | >1.5N | >1.5N | >1.5N | >1.5N | >1.5N | >1.5N | >1.5N |
| 尺寸 | 22 x 17 x 8.5 mm^3 | 30 x 17 x 8.5 mm^3 | 40 x 17 x 8.5 mm^3 | 50 x 17 x 8.5 mm^3 | 60 x 17 x 8.5 mm^3 | 70 x 17 x 8.5 mm^3 | 80 x 17 x 8.5 mm^3 |
| 重量 | 13g | 20g | 26g | 32g | 38g | 45g | 51g |
| pitch俯仰力矩Mp | 0.6Nm | 1.2Nm | 3.0Nm | 4.6Nm | 7.6Nm | 10.1Nm | 12.5Nm |
| yaw偏航力矩My | 0.6Nm | 1.2Nm | 3.0Nm | 4.6Nm | 7.6Nm | 10.1Nm | 12.5Nm |
| roll扭轉力矩Mr | 0.4Nm | 0.6Nm | 1Nm | 1.2Nm | 1.4Nm | 1.6Nm | 1.9Nm |
Closed-Loop-S
傳感器分辨率 | 1nm | 1nm | 1nm | 1nm | 1nm | 1nm | 1nm |
Closed-Loop-S
重復精度2 | +/-25nm | +/-30nm | +/-40nm | +/-50nm | +/-60nm | +/-70nm | +/-80nm |
Closed-Loop-L
傳感器分辨率 | 4nm | 4nm | 4nm | 4nm | 4nm | 4nm | 4nm |
Closed-Loop-L
閉環(huán)分辨率 | +/-500nm(H)CU,
4nm MCS | +/-500nm(H)CU,
4nm MCS | +/-500nm(H)CU,
4nm MCS | +/-500nm(H)CU,
4nm MCS | +/-500nm(H)CU,
4nm MCS | +/-500nm(H)CU,
4nm MCS | +/-500nm(H)CU,
4nm MCS |
Closed-Loop-L
重復精度 | +/-1um(H)CU,
+/-50nm MCS | +/-1um(H)CU,
+/-60nm MCS | +/-1um(H)CU,
+/-80nm MCS | +/-1um(H)CU,
+/-100nm MCS | +/-1um(H)CU,
+/-120nm MCS | +/-1um(H)CU,
+/-140nm MCS | +/-1um(H)CU,
+/-160nm MCS |
說明：
步進1：低振動模式時的掃描模式下步進為1nm,其它模式為50-1500nm
Closed-Loop-S重復精度2：是全行程的重復精度，行程范圍小時重復精度會更好
材料和真空可選項：
鋼鐵和鈦金屬材料底座可選
非磁性材料可選
液氮溫度CR可選
黑色氧化鋁表面處理可選
兼容真空（10^-6mbar)和高真空環(huán)境(10^-11mbar)處理工藝可選
