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納米壓電角位臺(tái) 光學(xué)表面分析儀

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產(chǎn)品型號(hào)FPSMA-SGO-93.5

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更新時(shí)間：2022-11-26 09:06:43瀏覽次數(shù)：177次

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孚光精儀（中國(guó)）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5采用壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米壓電角定位,旋轉(zhuǎn)中心為93.5mm,負(fù)載為5N(500g),尺寸為50x50x17mm^3,勝任任何需要高穩(wěn)定性和高角度精度的應(yīng)用

詳細(xì)介紹

納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5采用壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米壓電角定位,旋轉(zhuǎn)中心為93.5 mm,負(fù)載為5N(500g),尺寸為50x50x17mm^3,勝任任何需要高穩(wěn)定性和高角度精度的應(yīng)用。
納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5采用高精度交叉滾子軸承,具有*的角度精度和運(yùn)動(dòng)分辨率,結(jié)構(gòu)緊湊,堅(jiān)固耐用,非常適合微定位或納米定位應(yīng)用。
納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5具有良好的拓展和堆疊能力,可以與其它納米壓電位移臺(tái)搭建成復(fù)雜壓電定位系統(tǒng),與其它半徑相同的角位臺(tái)聯(lián)合可以搭建具有共同旋轉(zhuǎn)中心的歐拉角位臺(tái)系統(tǒng)。
納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5配備精確控制器,可以與集成定位傳感器一起使用,用于高真空和超高真空環(huán)境。

納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5規(guī)格參數(shù)

行程：±5°

步進(jìn)：0.7–7μrad

掃描范圍：10.5μrad

掃描分辨率：0.01μrad

速度：4°/s

頻率：18.5 kHz

阻尼力Mb:20 N cm

垂直載荷Fn:5N

橫向扭矩Mr:1.2 N m

尺寸：50 x 50 x 17 mm^3

旋轉(zhuǎn)中心：93.5 mm

重量：≈140g

-S閉環(huán)：
傳感器分辨率：0.03 µrad
-L閉環(huán)
傳感器分辨率：0.12 µrad
閉環(huán)分辨率：1.5urad(H)CU, 0.12urad MCS

壓電角位臺(tái)SGO-60.5可選項(xiàng)目

鋼底座（-ST）

延長(zhǎng)壽命（-Z）

-高真空（10^-6mBar），超高真空UHV/-UHVT（10^-11mBar）

納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5應(yīng)用案例
我們采用壓電角位臺(tái)納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5搭建了5D微操縱器,采用SLC-17納米線性定位器搭建XYZ三位納米定位臺(tái)系統(tǒng),再用2套納米壓電角位臺(tái)SGO-93.5用于納米旋轉(zhuǎn)定位，Z軸方向的線性定位器加載了恒力彈簧以勝任持久性大負(fù)載。這套5D微操縱器可用于高真空和超高真空環(huán)境,廣泛用于微納操作,納米操縱,SEM定位等應(yīng)用。

關(guān)鍵詞：傳感器