電動真空位移臺采用了適合
真空度高達10^-6Torr的
真空步進電機,所有的機械部件都使用高度真空兼容潤滑脂潤滑,是高精度電動
真空位移平臺,電動真空臺。電動真空位移臺充分考慮真空工藝處理,鋁零件沒有進行過陽極氧化處理,
電動真空位移臺在裝運發送之前在真空室中進行清洗和包裝,用戶購買后可立即置入真空環境中不會破壞真空環境。
電動真空位移臺產品規格型號 | 8MT173V-10 | 8MT173V-20 | 8MT173V-25 | 8MT173V-30 |
行程距離 | 10mm | 20mm | 25mm | 30mm |
螺距 | 0.25mm |
整步分辨率 | 1.25µm |
速度* | 2.5mm/s |
負載能力 |
水平負載 | 3kg |
垂直負載 | 1kg |
真空兼容電纜 | 集成2米長 |
電機接口 | HDB15(M) |
電機 | VSS42 |
重量 | 0.42kg | 0.48kg | 0.49kg | 0.5kg |
搭建成多軸位移臺所需配件 |
X-Y軸 | 2CP173V-20 |
Z | 2AB173V-20 |
建議控制器 | 8SMC5-USB |
電動真空位移臺配備有高度真空兼容的Sub-D接口連接器,9或15針連接器,連接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外殼是不銹鋼,適用于高度真空10^-6毫巴和溫度高達110°C的環境。
高度真空Sub-D連接器的規格:
真空:10^-6毫巴
主體材料:DEP
溫度范圍:- 55°C至110°C
針材質:鍍金銅合金
提供其他尺寸大小的連接器和真空密封裝置。