FPASI-GTS 龍門式三維運動平臺 光學表面分析儀

龍門式三維運動平臺是專業為三軸龍門式平移運動設計的三軸Gantry位移平臺,采用三種精準閉環直流伺服電機線性制動器確保高精度線性平移運動。
龍門式三維運動平臺標準的15英寸龍門架為X軸和Y軸提供380mm行程距離,Z軸行程100mm(4英寸),并可按客戶要求訂制更大或更小行程的龍門運動平臺。并可且可提供第四軸支持控制視頻顯微鏡縮放變焦,支持變焦范圍高達16倍。

龍門式三維運動平臺采用精密軸承導向總成提供平穩和準確的運動。整個龍門工作臺經過精密加工達到了要求的公差,XY分辨率高達3arcsec 典型的雙向重復精度優于5微米。在標準配置中，X軸和Y軸的移動速度為每秒100毫米（4英寸），還可提供其它運行速度選項。
龍門式三維運動平臺Z軸標準分辨率高達0.1微米,雙向重復精度高達1微米,行進速度7mm/s，可提供其它速度。
龍門式三維運動平臺可提供各種線性編碼器,分辨率高達10nm，典型重復精度500nm。
龍門式三維運動平臺可配置相機和視頻顯微鏡,支持共軸照明,環狀照明等光源安裝，搭建成圖像采集,視頻檢測,3D定位,剖面檢測等成像顯微鏡系統。
龍門式三維運動平臺Gantry特點
1.XY軸閉環直流伺服控制,Z軸用于精準定位；
2.寬廣的動態速度范圍，可調整梯形運動輪廓；
3.驅動器上電子力矩限位保護,用于“內置”極限保；
4.霍爾效應極限傳感器用于XYZ三軸
4.所有軸上微米級的重復精度；
5.平滑可調試雙量程操縱桿控制；
6.背光液晶顯示器顯示XY和Z坐標軸；
7.“0”和“Home ”按鈕用于簡單獨立的操作；
8.緊湊的符合人體工程學的桌面單元尺寸是9 x 23 x 16½ cm (3½ x 9 x 6½ 英寸)；
9.微處理器控制與RS-232串行和USB通信；
10其他功能包括可編程定位模式和掃描。
龍門式三維運動平臺Gantry技術參數

XY軸行程范圍	380 mm x 380 mm (15” x 15”)
XY軸分辨率	< 3 µm
XY軸RMS可重復精度	< 5 µm
XY軸速度	100 mm/sec
Z軸行程范圍（典型）	100 mm (4”)
Z軸分辨率（Z軸步長）	22 nm
Z軸RMS可重復精度（典型）	< 700 nm
Z軸速度	7 mm/sec

龍門式三維運動平臺Gantry的螺桿可選項

絲桿螺距選擇	旋轉編碼器分辨率		速度（動態范圍=400）
	XY	Z	XY	Z
25.40 mm (極粗)	N/A	88 nm	N/A	28 mm/sec
12.70 mm (超粗)	1680 nm	44 nm	200 mm/sec	14 mm/sec
6.35 mm (標準)	840 nm	22 nm	100 mm/sec	7 mm/sec
1.59 mm (細)	210 nm	5.5 nm	25 mm/sec	1.75 mm/sec

注明：采用標準6.35mm螺距螺桿

龍門式三維運動平臺Gantry規格說明
1.Z軸的標準分辨率小于0.1微米，典型的雙向重復性優于1微米。在標準配置中,Z軸的移動速度為每秒7毫米（1/4英寸）,還有其他的可供選擇。
2.線性編碼器適用于所有軸提供分辨率降到10nm,典型的可重復性比500nm,規模精度±3µm規模的長度。
3.該龍門式三維運動平臺Gantry可以定制配置相機和視頻顯微鏡與自動聚焦和電動變焦。照明選擇范圍也很廣,包括同軸光源,環形光源和LED燈箱,如圖所示,具有可變強度和均勻的光分布。
4.該龍門式三維運動平臺Gantry可以很容易地配置為各種各樣的圖像采集,視頻檢查,3D定位和剖面應用。