原子熒光光譜法是以原子在輻射能激發下發射的熒光強度進行定量分析的發射光譜分析法。根據熒光產生機理的不同，原子熒光的類型達到十余種，但在實際分析中主要有：

1.共振熒光
處于基態或低能態的原子, 吸收光源中的共振輻射躍遷到高能態, 處于高能態的原子在返回基態或相同低能態的過程中, 發射出與激發光源輻射相同波長的熒光,這種熒光稱為共振熒光。
2.直躍線熒光
當處于基態的價電子受激躍遷至高能態（E2），處于高能態的激發態電子在躍遷到低能態（E1）（但不是基態）所發射出的熒光被稱為直躍線熒光。
3.階躍線熒光
當價電子從基態躍遷至高能態(E2)后, 由于受激碰撞損失部分能量而降至較低的能態(E1)。從較低能態（E1）回到基態（E0）時所發出的熒光稱為階躍線熒光。
4.熱助階躍線熒光
基態原子通過吸收光輻射躍遷至高能態(E2), 處于高能態的價電子在熱能的作用下進一步激發, 電子躍遷至與能級E2相近的更高能態E3。當去激發至低能態（E1）（不是基態）時所發出的次級光被稱為熱助階躍線熒光。
5.敏化熒光
當受激的一種原子與第二種原子發生非彈性碰撞時, 可能把能量傳給第二種原子, 從而使第二個原子被激發, 受激的第二種原子去激發過程中所產生的熒光叫敏化熒光。