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TPD系統

程序溫度脫附控制系統 （TPD）

用于測量超薄薄膜吸附/脫吸的獨立系統，能夠在較寬溫范圍內進行高精度溫度控制。

• 本底真空1×10^-9 mbar 的 TPD/TDS 腔室（可用于其他組件的備用端口）
• 配備四極桿TDS 40A1熱脫附質譜儀（質量范圍到200 AMU），Z軸移動以實現探測器定位
• 特別設計的圓錐形采樣端件
• 1 軸超高真空操縱器，在寬溫范圍內具有高精度溫度控制（-170°C 至 1200 °C）
• TDS專用 計算機控制的數據采集和處理軟件
• 樣品傳輸腔配置兩個 PTS 樣品夾具
• 從樣品傳輸腔到 TPD 室配置可靠和快速的線性傳輸系統
• 19" 支撐柜，安裝所有的電子部件
• 具有大輪子的可調節剛性大型機，便于系統放置

升級選項

• 操縱器的其他運動軸，并機動化
• 通過精確控制壓力，將壓力范圍從超高真空擴展到 1 atm 的可能性
• 氣體注入系統（手動或精確與 PLC 控制）
• 溶劑注入系統
• 致力于在腐蝕性環境中工作的樣品夾具
• 樣品傳輸腔室具有加熱和 液氮LN₂冷卻選項
• 用于樣品準備的專用室
• 不同質量范圍的殘余氣體分析質譜儀