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勻膠機(jī)
勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin真空吸附，無污染；
臺(tái)式勻膠機(jī),占用空間小；
具備耐化學(xué)性的無縫聚丙烯外罩，并且勻膠機(jī)主機(jī)易清洗；
聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機(jī)可用于強(qiáng)腐蝕性化學(xué)材料；
便于程序操作的全尺寸鍵盤，甚至帶著手套都可以方便使用；
可以準(zhǔn)確重復(fù)運(yùn)行程序的數(shù)字程序控制系統(tǒng)；
高度靈活的多重可編程步驟組成復(fù)合程序。


應(yīng)用范圍：
可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機(jī)物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液；

全自動(dòng)的勻膠及顯影工藝必需的全自動(dòng)Chip生產(chǎn)設(shè)備：