SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

另有160度，200度可選：

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG100D 壓力計是實現**總壓測量與控制的理想之選。 CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C，具有**的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。 在 100 毫托至 1000 托滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。 INFICON CDG 品質**，**成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

益處

• 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
• 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點
• 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
• 診斷端口用于快速維修和維護
• 兩年保修服務，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
• **的信號穩定性和可重復性，即使是*苛刻的等離子應用，都無需長期執行重新校準
• 合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

• 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
• 化學和腐蝕性高溫過程
• 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

新聞

配備 EtherCAT 數字接口現在可用！