當前位置:班奈自動化儀表(上海)有限公司>>美國ALICAT>> 美國ALICATPC/PCR壓力控制器 質量流量計
結合您用得順手的真空計與艾里卡特PC-EXTSEN壓力控制器,可打造的絕壓控制方案用于真空沉積。質量流量控制器控制進入腔體的反應氣體流量、PC-EXTSEN壓力控制器穩定整個腔體壓力。
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