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agilent擴散泵返回列表頁

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更新時間：2020-09-14 11:25:22瀏覽次數：217次

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agilent(原varian）擴散泵，擴散泵的*，作為為*范圍內的擴散泵供應商，為客戶提供口徑從2英寸到35英寸范圍內各種擴散泵，是美國的一個全系列的擴散泵供應商。產品具有大抽速，高排氣量等特點。適用于真空度在10-1~10-8mbar之間。

agilent(原varian）擴散泵作為的擴散泵制造商，安捷倫擁有面的擴散泵產品線，直徑從 2 英寸至 35 英寸不等。該擴散泵于批量生產，可以在高壓、高負載條件下保持很大的抽氣能力，并能適應大批量生產中常見的氣體負荷變化情況。優化的泵設計使得單位功率可以提供大的抽氣量，并降低了對冷卻水的要求。此外，堅固耐用的不銹鋼構造也可以將總擁有成本降至低。該泵操作維護簡單，地延長了正常工作時間，并且有優秀的安捷倫應用和技術支持團隊提供支持。應用包括高真空應用、真空爐、涂覆、薄膜沉積和分子束外延。

agilent(原varian）擴散泵特點：
1、大抽速、大抽氣量
2、抗輻射、抗氧化、快速循環.抗爆炸.
3、高前級耐壓
4、高極限真空度
5、返油量極低
6、超常的使用壽命

agilent(原varian）擴散泵技術參數：

型號	AX-65	HS-2	VHS-4	VHS-6	VHS-250
抽速空氣，L/s	65	160	750	1550	2125
大前級耐壓Torr/mbar 沒有負載有負載	0.75/1.0 0.6/0.78	0.55/0.72 0.4/0.52	0.65/0.86 0.55/0.73	0.65/0.85 0.55/0.72	0.65/0.85 0.55/0.72
*前級泵抽速m³/hr	0.15/0.25	5.0/8.5	10/17	17/28.9	17/28.9
返油率mg/cm²/min 標準冷帶	2×10^-4	1×10^-3	5×10^-4	5×10^-4	5×10^-4
啟動時間（min）	7	15	10	10	15
電源	1ph,50Hz, 220V	1ph,50Hz, 240V	1ph,50Hz 240V	1ph,50Hz, 240V	3ph,50Hz, 240V
功率	200/250	450	1450	2200	2200
冷卻水l/hr,15-26°C	N/A	0.1/20	0.15/30	0.25/50	0.25/50

型號	VHS-10	VHS-400	HS-16	HS-32	NHS-35
抽速空氣，L/s	3650	4500	6000	17300	28000
大前級耐壓Torr/mbar 沒有負載有負載	0.65/0.85 0.55/0.72	0.65/0.85 0.55/0.72	0.65/0.82 0.55/0.72	0.50/0.65 0.35/0.45	0.55/0.71 0.40/0.52
*前級泵抽速m³/hr	30/51	30/51	80/136	300/510	300/510
返油率mg/cm²/min 標準冷帶	5×10^-4	1×10^-3	1.5×10^-3	7×10^-4	5×10^-4
啟動時間（min）	15	30	45	60	--
電源	3ph,50Hz, 380V	3ph,50Hz, 380V	3ph,50Hz, 380V	3ph,50Hz, 380V	3ph,50Hz, 380V
功率	4400	4400	8100/9600	24000	24000
冷卻水l/hr,15-26°C	0.4/80	0.4/80	1.5/300	4.0/800	4.0/800