QMG 700 分析質譜儀

超越檢測極限且達到優異的穩定性和細微的分辨率

半導體制造技術的快速發展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質譜儀以突破檢測極限，推動工藝創新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優勢，獲得出眾的測量能力。

根據具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數量級的動態測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質量范圍都有很高的分辨率，對較低的質量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是*的選擇。QMG 700 出色的*穩定性可保證關鍵性的測量，有效控制您的工藝。

INFICON 在分析質譜儀領域五十多年的歷史的技術，確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長，您可獲得始終如一的高精度測量數據。

功能

質量范圍選擇為 1-2048 amu
超過九個數量級的動態量程
極快的測量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
涵蓋整個質量范圍的高分辨率：質量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內清晰地分離
超過 10 個不同的離子源和離子光學組合
離散或連續倍增電極電子倍增器選件
用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數前置放大器
IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數字輸入/輸出
軟件功能強大，靈活實用且具友好的用戶界面

典型應用

Gas discharge mass spectrometry
End point detection
Deposition material monitoring
Secondary ion mass spectrometry

零件號

QMA 400
零件號	明細
490-709
490-710	QMA 400 with axial Ionenq.
490-711	QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712	QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713	QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721	QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722	QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756	QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2	QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-770	QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772	QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736	QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件號	明細
490-811	QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813	QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件號	明細
490-911	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)

規格

類型	QMA 400	QMA 410	QMA 430
質量范圍	1-2048 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
傳感器長度	441.5 mm	548 mm	441.5 mm
桿直徑	8 mm	16 mm	8 mm
桿材料	Molybdenum	Molybdenum	Stainless Steel
法蘭	DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
檢測器類型	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217
大工作壓力 (FC)	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
大工作壓力 (EM)	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
靈敏度	5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
小可檢測分壓	1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
分辨率（可調）	0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
分壓比	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
工作溫度傳感器	150 °C	150 °C	150 °C
烘烤溫度	400 °C	400 °C	400 °C
工作溫度電子單元	40 °C	40 °C	40 °C
測量速度	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
電源	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC