MF-30模擬型氣體質量流量計 返回列表頁

工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量（無需溫度壓力補償）。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設置有穩定電源，3位半數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

·         主要技術指標

·         編號 項目 MF-200C MF-200M
1 流量規格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程