新一代MEMS傳感器將為智能手機、消費類智能產品、醫療保健和零售終端在性能和功能方面帶來又一次飛躍。
MEMS技術是強大的運動、環境等微型傳感器的基石，這些傳感器為當今的智能手機和可穿戴設備提供了直觀的情境感知功能。現在，意法半導體的新一代MEMS技術將傳感器性能提升到了新的高度，超越了現有市售產品在輸出精度和功耗方面的技術限制。新一代MEMS傳感器可以為活動檢測、室內導航和精密工業傳感等應用提供業界最高的精度。同時，它們還可以保持較低的功耗以延長運行時間。
部分MEMS產品具有的額外功能包括意法半導體的機器學習內核(MLC)和靜電傳感。MLC為以極低功耗運行的邊緣應用帶來了自適應的機器學習功能。電荷變化(QVAR)感應通道通過智能手表或健身手環中與身體接觸或非接觸式感應(雷達)來監測靜電電荷的變化。帶有QVAR的意法半導體MEMS傳感器可以增強用戶界面控制，以確保無縫交互，或簡化濕度和冷凝檢測。雷達模式應用包括人員存在檢測、活動監控以及人員計數。
意法半導體MEMS營銷總監Simone Ferri表示：“開創性的新一代產品基于意法半導體在MEMS專業知識和工藝技術方面的廣泛投入和歷史積累。除了徹底革新傳感器的性能，我們還通過可選的靜電傳感和機器學習來進一步擴展它們的功能。由此提供了為Onlife時代做好準備的新一代MEMS傳感器，通過始終存在、始終在線以及始終連接，使智能生活更透明、更順暢。”
此次推出的新一代傳感器包括LPS22DF和LPS28DFW(防水)大氣壓力傳感器，其工作電流為1.7 µA，絕對壓力精度為0.5 hPa。LPS28DFW具有雙滿量程功能，能夠在水下和水上提供精確的垂直定位。其滿量程范圍可選擇最大1260 hPa或4060 hPa，相當于約30 m深度處的水壓。這兩款傳感器可以提高便攜式設備和可穿戴設備(包括運動手表)的高度計和氣壓計性能。典型的工業應用包括天氣監測和精確水深傳感等。
新款三軸MEMS加速度計LIS2DU12，專門用于構建具有主動抗混疊功能的超低功耗架構。其抗混疊濾波器的電流消耗是市場上較低的。LIS2DU12在100 Hz輸出數據速率(ODR)下電流消耗僅3.5 µA，也是第一款帶I3C接口的市售MEMS加速度計。所有這些功能都集成在最小的2.0 mm x 2.0 mm x 0.74 mm封裝中。這款加速度計非常適用于可穿戴設備、助聽器、真無線立體聲(TWS)耳機、無線傳感器節點以及任何必須進行系統優化的應用。
新款6軸iNEMO慣性模塊LSM6DSV16X包含QVAR靜電傳感，以及MLC和有限狀態機(FSM)，可增強響應并節省電源，其工作電流可低至12 µA。新的FSM可實現自適應自配置(ASC)，由此，該6軸MEMS器件可以感知情境，并在不喚醒系統的情況下自行重新配置，從而實現顯著的額外節能效果。這款產品即將投入量產，已在一種靜電雷達應用中進行了演示，用于用戶檢測以加速喚醒筆記本電腦。
新款壓力傳感器LPS22DF提供2.0 mm x 2.0 mm x 0.73 mm 10-lead LGA封裝(eStore有售)，LPS28DFW提供2.8 mm x 2.8 mm x 1.95 mm 7-lead LGA封裝(eStore提供免費送樣)，這兩款產品目前已在量產，可通過分銷商采購，售價1.90美元起。LIS2DU12和LSM6DSV16X計劃于2022年晚些時候推出。
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