【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】10月16日，全國壓力計量技術(shù)委員會發(fā)布了《電離真空計校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿，并面向全國的計量機(jī)構(gòu)、科研院所等相關(guān)單位征求意見。
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本校準(zhǔn)規(guī)范的起草單位有中國計量科學(xué)研究院、云南省計量科學(xué)研究院、成都國光電氣股份有限公司。
電離真空計由電離真空規(guī)(壓力傳感器)和顯示儀表組成。電離真空規(guī)按照電離電子源的不同可以分為發(fā)射陰極電離真空規(guī)和交叉場電離真空規(guī)。當(dāng)溫度不變時，氣體分子被電離所生成的正離子數(shù)與氣體分子密度成正比，即與壓力成正比。電離真空規(guī)的計量特性與氣體種類有關(guān)。實際校準(zhǔn)工作中通常以氮氣為工作介質(zhì)。
JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF 1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》和GB/T3163-2007《真空技術(shù)術(shù)語》共同構(gòu)成本規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。
本校準(zhǔn)規(guī)范參照J(rèn)B/T 7463-2005《熱陰極電離真空計》、ISO/TS 3567:2011(E) 《真空計——與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比對的校準(zhǔn)》(Vacuum gauge — Calibration by direct comparison with a reference gauge)、ISO/TS 27893:2011(E)《真空技術(shù)——真空計——與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比對校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評定》(Vacuum technology — Vacuum gauge — Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge)和《真空技術(shù)手冊》(Handbook of Vacuum Technology)中第13章全壓真空計(Total Pressure Vacuum Gauge)和第15章校準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)(Calibrations and Standards)進(jìn)行制定，采用了其中的基本原則，對具體方法和技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了細(xì)化、補(bǔ)充和修改。
本規(guī)范為修訂，代替JJF1062-1999《熱陰極電離真空計》及JJG462-2004《二等標(biāo)準(zhǔn)電離真空計》。
與JJF1062-1999和JJG462-2004相比，除編輯性修改外，主要技術(shù)變化如下:刪除規(guī)管常數(shù)和電路的電參數(shù)檢測部分；刪除壓力示值誤差超差判據(jù)；以修正因子作為被校儀器計量特性；原規(guī)范中要求標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)室的本底壓力不大于被校真空計壓力下限測量點壓力值的2%，本次修訂將該數(shù)值修改為10%；增加不確定度評定方法。
本規(guī)范引用了JJF 1001-2011 通用計量術(shù)語及定義；JJF 1008-2008 壓力計量名詞術(shù)語及定義；GB/T 3163-2007 真空技術(shù)術(shù)語；JB/T 7463-2005《熱陰極電離真空計》；ISO/TS 3567:2011(E) 真空計——與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比對的校準(zhǔn)(Vacuum gauge — Calibration by direct comparison with a reference gauge)；ISO/TS 27893:2011(E) 真空技術(shù)——真空計——與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比對校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評定(Vacuum technology — Vacuum gauge — Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge)文件。
本規(guī)范適用于測量范圍在1×10-9 Pa~100Pa的電離真空計校準(zhǔn)。(更多詳情請見附件)。
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