350萬元，東南大學電子科學與工程學院反應離子刻蝕機采購項目招標

　　【儀表網(wǎng) 招標采購】7月8日，中國政府采購網(wǎng)發(fā)布東南大學電子科學與工程學院反應離子刻蝕機采購項目招標公告，預算金額350萬元，東南大學電子科學與工程學院采購反應離子刻蝕機。
 

　　一、項目基本情況
 

　　項目編號：0664-2540SUMECZF116
 

　　項目名稱：東南大學電子科學與工程學院反應離子刻蝕機采購
 

　　預算金額：350.000000 萬元(人民幣)
 

　　最高限價(如有)：340.000000 萬元(人民幣)
 

　　采購需求：
 

　　1、兼容8英寸及以下尺寸的晶圓片和不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空；反應腔室由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率，真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s；腔壁可加熱，反應腔內徑≥ 295 mm。
 

　　2、下電極為鋁制電極，由射頻源驅動；電極冷卻：水冷，配置有循環(huán)冷卻器，溫度控制范圍不小于+10到+80°C。
 

　　3、配置激光終點原位檢測裝置，激光終點檢測波長≥ 650 nm，測量速度≤ 1秒，帶X-Y電動位移，行程范圍≥ 20 mm × 20 mm；配置光發(fā)射譜(OES)終點檢測裝置，OES終點檢測裝置光譜范圍≥ 200-1000 nm，配置≥ 2000像素的CMOS探測器。
 

　　本項目接受進口產(chǎn)品。
 

　　本項目所屬行業(yè)：工業(yè)。
 

　　本項目(非專門)面向中小企業(yè)采購。
 

　　本項目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)采購。
 

　　本項目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購。
 

　　最高限價：340萬元(境內外產(chǎn)品最高限價均為此限價，其中境外產(chǎn)品不含外貿(mào)代理費)，超過最高限價的為無效投標文件
 

　　項目編號：0664-2540SUMECZF116(SEU-ZB-250495)
 

　　合同履行期限：境外產(chǎn)品：開具信用證后300天內設備安裝調試合格。境內產(chǎn)品：合同簽訂后300天內設備安裝調試合格。
 

　　本項目( 不接受  )聯(lián)合體投標。
 

　　二、申請人的資格要求：
 

　　1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
 

　　2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
 

　　無
 

　　3.本項目的特定資格要求：(1)如為進口產(chǎn)品，需提供有效的產(chǎn)品授權書。4.拒絕下述供應商參加本次采購活動：(1)供應商單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得參加同一合同項下的政府采購活動。(2)凡為采購項目提供整體設計、規(guī)范編制或者項目管理、監(jiān)理、檢測等服務的供應商，不得再參加本項目的采購活動。(3)供應商被“信用中國”網(wǎng)站(www.creditchina.gov.cn)、“中國政府采購網(wǎng)"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被執(zhí)行人、稅收違法黑名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單。
 

　　三、獲取招標文件
 

　　時間：2025年07月09日  至 2025年07月15日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。(北京時間，法定節(jié)假日除外)
 

　　方式：在線獲取(詳見補充事宜)
 

　　售價：￥400.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
 

　　四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
 

　　提交投標文件截止時間：2025年07月30日 14點00分(北京時間)
 

　　開標時間：2025年07月30日 14點00分(北京時間)
 

　　地點：南京市長江路198號蘇美達大廈輔樓301會議室