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微機電氣體質量流量計
產品概述
微機電氣體質量流量計采用微機電系統（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術，歷經多年開發的
智能化全電子式氣體質量流量儀表。主要技術性能處于水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比（100：1）等特點；適用于測量空氣、氨氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣等介質。
針對工業環境，微機電氣體質量流量計融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計，且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝、維護方面也具有其*的*性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。
本系列流量計執行標準為：Q/77453766-1.1-2006。參照執行標準：ISO14511；GB/T20727-2006。
產品特點
采用微機電系統芯片加工技術和大規模集成電路的生產技術及材料加工技術，傳感器的尺寸縮小到微米量級，使流量計的靈敏度大大提高。在單個芯片上實現了多傳感器集成，使流量計的量程比（范圍度）大大提高。結合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性更好，實現了計量準確可靠。技術進步帶來的結構簡化，使流量較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀書方便。產品融合了電磁兼容設計技術，具有高抗*力。本流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。可以選配4-20mA標準電流信號輸出。通過國家防爆認證，標志為Ex ia ⅡC T4，可用于易燃易爆氣體
工作原理
微機電系統（MEMS）芯片傳感技術，是在硅芯片上集成了具有機械和電子特性
的微米級傳感器。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現代
材料制作技術與大規模集成電路技術相結合獲得新的機電特性。微機電系統芯片可實
現某些宏觀機電器件所不能達到的功效。
MF系列質量流量計采用了本公司生產的熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量
傳感方式的流量計，它是通過氣體流動產生的熱場變化來測量氣體流量的。由于不同
質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質量流量。
不同于傳統的“熱絲”方式采用了多個熱傳感器及熱源來測量氣體的質量流量（
風速式熱質量流量原理），微機電系統芯片熱質量流量傳感器采用了多個熱傳感器和
一個微熱源（量熱式熱質量流量原理），大大減少了環境對測量的影響。微機電系統
芯片熱質量流量傳感器的熱源十分微小，采用插入式在相對大的流場中，在無氣體流
動時，傳感器的熱源對環境無影響，不會像傳統的熱絲式質量流量計那樣造成氣體的
對流。因而，微機電系統芯片熱質量流量傳感器具有優良的零點穩定性和極短的響應
時間。
本流量計主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號處理模塊、A/D轉換模塊、
EEPROM存儲器、RTC實時時鐘模塊以及顯示模塊組成。
技術指標
范圍度 ＞100：1
精度 ±（1.0+0.15FS）%；±（1.5 +0.15FS）%
重復性 ±0.5% ±0.75%
工作壓力 ＜2.5MPa 2.5～4.0 MPa為定制產品
環境溫度 -10-55℃
介質溫度 -20-60℃
濕度 ＜95%RH
LCD顯示 總量（Nm3），流量（Nm3/h）
供電方式 8-24VCD；110/220VAC（適配器供選）
校準條件 空氣、20℃；101.325KPa；可根據用戶要求進行實際介質標定
材料/機械連接 不銹鋼；法蘭/NPT/BSPT
數據存儲 可自動存儲數據
輸出（選項） RS485；4-20mA；脈沖
用戶控制（選項） 用戶界面軟件
防護等級 IP65
防爆等級 Ex ia ⅡC T4
