專注微小流量測量微氣體質量流量計
微氣體質量流量計的概述：
采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
微氣體質量流量計的技術參數：
2.1 測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：
a)以上流量的測量介質為空氣而言；
b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。
c) 每個口徑量程范圍均可擴大
d)特殊需要可單獨標定
2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。
微氣體質量流量計的型號命名
MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
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| 接頭類型 | 0：普通 |
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| 1：Swagelok接頭 | ||
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| 2：其他 | ||
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| 連接形式 | 0：快速接頭 | |
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| 1：法蘭式 | |||
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| 標定方式 | 0：空氣 | ||
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| 1：氫氣 | |||
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| 2：氧氣 | |||
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| 3：氮氣 | ||||
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| 品種 | 01：有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出 | |||
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| 02：有顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
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| 03：有顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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| 04：有顯示；無485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
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| 05：無顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
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| 06：無顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
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| 材質 | 0：304不銹鋼 | ||||
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| 1：316不銹鋼 | |||||
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| 2：316L不銹鋼 | |||||
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| 3：鋁 | |||||
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| 4：其他 | |||||
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| 壓力 | 0：≤0.3Mpa | |||||
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| 1：≤0.6Mpa | ||||||
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| 2：≤1.0Mpa | ||||||
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| 被測介質 | ||||||||
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| 流量范圍 | ||||||||
| 產品通徑 | 03：DN3 | ||||||||
| 06：DN6 | |||||||||
| 08：DN8 | |||||||||
| 10：DN10 | |||||||||
產品類型 | M：質量流量計 | |||||||||
C：質量流量控制器 | ||||||||||
專注微小流量測量微氣體質量流量計的機械尺寸
L | D | H | G | |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
