Junior小型等離子表面處理設(shè)備

產(chǎn)品介紹：

• 反應(yīng)艙：
      材料：鋁
      有效尺寸：直徑230 x 深度250mm
      容積：10.4升
      艙門：裝有可視窗口
      托盤：訂制

• 真空度測量：
      皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）
• 真空泵：
     二級旋片式真空泵；3m³ 每小時。
• 頻射發(fā)生器：
      0~600w可調(diào)，2.45GHZ發(fā)生器
• 控制系統(tǒng)：
      觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)
      PLC可實現(xiàn)下列功能：
           1、自動控制反應(yīng)過程；
  ?       2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；
  ?       3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)；
  ?       4、監(jiān)測所有的運行指標(biāo)，保證在設(shè)定范圍之內(nèi)；
  ?       5、 設(shè)定操作、維護密碼。
• 電源：
       220V AC、50Hz、16A.
• 反應(yīng)氣體：
      一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據(jù)用戶需要，可擴展
• 氣體輸入：
      直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar. 
• 安全性能：
      急停開關(guān)；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE安全認(rèn)證。

 用途：

小型物件的活化、清洗、蝕刻等。

可選件：

• 頻射發(fā)生器：100KHZ, 13.56MHZ ，可訂制
• 可加裝15m³每小時的真空泵
• 根據(jù)需要，可訂制多個氣體輸入管道
• 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
• 根據(jù)客戶要求制作的托盤。
• 石英反應(yīng)艙 
• N₂ Purge.