基本參數(shù)：
- 主要特征：
臺(tái)式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊精致
低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率，zui大可為18W
設(shè)備輻射小，安全環(huán)保
- 外形尺寸：
8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm） - 重量：
6.0kg - 輸入電源：
220 V／50Hz - 輸入功率：
100 W - 功率檔：
低檔680V DC、10mA DC、6.8W
中檔700V DC、15mA DC、10.5W
高檔720V DC、25mA DC、18W - 常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等 - 基本配置：
直徑3英寸，長(zhǎng)6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
zui大為18W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥 - 選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM - 周邊設(shè)備：
基本型真空泵（PDC-VPE-2）
可選件：
- 選件一：氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM
功能及配置簡(jiǎn)介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過(guò)程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)（1.0 SCFH & 2.0 SCFH）
5、溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力
6、適用氣體：空氣、氮?dú)狻鍤饣蚧旌蠚怏w。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號(hào)：PDC-FMG-2 - 選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用zui小1.4 m3/hr （0.83 cfm），壓力為200 mTorr （0.27 mbar）的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號(hào)：
1、PDC-VP-2 （220V）
抽真空速度（50/60 Hz）: 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力（氣鎮(zhèn)關(guān)）：1.5 mTorr
極限壓力（氣鎮(zhèn)開(kāi)）：23 mTorr
電機(jī)功率：（50/60 Hz）: 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 （220V）
抽真空速度（50/60 Hz）: 5.1 m3/hr
極限壓力（氣鎮(zhèn)關(guān)）: 7.5 mTorr
極限壓力（氣鎮(zhèn)開(kāi): 150 mTorr
電機(jī)功率（50/60 Hz）: 373 W
重量: 27 lbs
尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D" - 選件三：石英等離子清洗艙及托盤
