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切割機、研磨機、掃描電鏡等
連續式四探針片電阻及光學膜厚測量設備設計, 片電阻不受針尖距離影響多種型號以供選擇:
自動上下片(Cassette to cassette, C2C)
室溫至100°C 的測量(更高可選)
可添加并整合于多腔式的集束型架構設備(cluster tool)
亦可在連續式設備內加入四探針片電阻及光學膜厚測量, 適合薄膜太陽能(銅銦鎵硒, CIGS)及平板顯示行業
基材尺寸:
450mm晶圓 (樣品臺旋轉)
370 x 470mm 長方形基底 (XY樣品臺)
連續式設備可以度身訂做, 沒有尺寸限制
片電阻測量適合金屬薄膜、銅銦鎵硒、非晶硅(硅)、碲化鎘、鉬、透明導電薄膜(AlZnO2)、摻雜之后的硅(硅)、硅鍺及鍺
0.1 – 100,000 單位面積奧姆值 (更高可選)
可整合于連續式(INLINE)的生產線內, 而收集的測量數據可自動送到SCADA系統
光學膜厚測量功能可選
測量光斑<1mm
波長: 380-1050nm
可測量膜厚: 15-50nm, 多可達250nm
短時間重復性: ~0.1nm
長時間重復性:: ~0.1nm
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 防腐膜片式壓力表 | 面議 | 滁州市 | 安徽天康（集團）股份有限公司 | 2025-02-11 | 在線詢價 |
| 隔膜密封式壓力變送器（凸膜片形） | 面議 | 淮安市 | 江蘇杰達儀表科技有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| 防腐膜片式壓力表 | 面議 | 安徽康泰電氣有限公司 | 2025-03-06 | 在線詢價 | |
| 德寶德BURKERT產品系列DN40膜片閥340510 | 面議 | 上海市 | 上海乾拓貿易有限公司 | 2025-03-01 | 在線詢價 |
| 防腐膜片式壓力表 | 面議 | 安徽天康（集團）股份有限公司 | 2025-03-09 | 在線詢價 | |
| 隔膜、膜片式壓力表 | 面議 | 無錫市昌林自動化科技有限公司 | 2017-07-22 | 在線詢價 |
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