產(chǎn)品介紹introduction
| 項目 | 參數(shù) | |||
| 輪廓測量范圍 測量精度 | X軸 | 100mm | 150mm | 200mm |
| 直線度 | 0.6μm /100mm | 0.6μm /100mm | 0.9μm /150mm | |
| Z1（傳感器量程） | 40mm | 60mm | ||
| （粗糙度量程同步） | （粗糙度量程同步） | |||
| Z高度 | 650mm | |||
| 最小內(nèi)孔 | 30mm (換小測針可測更小內(nèi)徑) | |||
| 線性精度 | ≤±（1+I0.12HI）μm | |||
| 圓弧 | ≤（1.2+R/8） | ≤（1.2+R/8） | ≤（1.2+R/8） | |
| 角度 | ≤±1′ | ≤±1′ | ≤±1.2′ | |
| 粗糙度部分 | Z1（傳感器量程） | 有效量程±3mm | ||
| 粗糙度測量重復性 | 1δ≤2nm | |||
| 粗糙度示值誤差 | ±5% | |||
| 粗糙度示值穩(wěn)定性 | ≤±7% | |||
| 粗糙度測量重復性 | ±3% | |||
| 分辨率 | 0.1μm | |||
| 測量方式 | 傳感器移動 | |||
| XZ1Z | 三軸電動控制 | |||
| 電源 | AC 220V±10% 50Hz | |||
| 環(huán)境要求 | 相對濕度(RH)：＜85% | |||
注：圓弧：2mm＜R＜10mm 的標準球，取樣圓弧夾角為120°。
角度：60°、90°的角度塊，角邊取樣長度為 5mm。
粗糙度測量重復性：采用 Ra 為0.35-0.5μm 的方波標準件。
以上參數(shù)均在 20℃± 2℃，階梯溫度不超過2℃/h 和地面振動 RMS＜50Hz
2.5μm/s 且RMS＞50Hz 5.0μm/s 的環(huán)境下測得。
