真空高低溫探針臺(tái)：
1． 產(chǎn)品名稱(chēng)：真空探針臺(tái)
2． 產(chǎn)品型號(hào)：KT-Z1604T-RL
3． 產(chǎn)品品牌：鄭科探 Zhengketan
4． 生產(chǎn)廠家：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
功能要求
KT-Z160T-RL該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到400℃。低溫-190°C。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶(hù)可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。
真空高低溫探針臺(tái)：主要技術(shù)要求
1． 腔體材質(zhì)：304不銹鋼
2． 上蓋開(kāi)啟：鉸鏈側(cè)開(kāi)
3． 加熱臺(tái)材質(zhì)：304不銹鋼
4． 內(nèi)腔體尺寸：φ160x90mm
5． 觀察窗尺寸：Φ70mm
6． 加熱臺(tái)尺寸：φ55×55mm
7． 觀察窗熱臺(tái)間距：75mm
8． 加熱臺(tái)溫度： -190-400℃
9． 加熱臺(tái)溫控誤差： ±1℃
10． 真空度： 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
11． 允許正壓： ≤0.1MPa
12． 真空抽氣口： KF25真空法蘭
13． 氣體進(jìn)氣口： 3mm-6mm卡套接頭
14． 電信號(hào)接頭： SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
15． 電學(xué)性能： 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培
16． 探針數(shù)量： 4探針
17． 探針材質(zhì)： 鍍金鎢針
18． 探針尖： 10μm
19． X軸移動(dòng)行程： 30mm ±15mm
20． X軸控制精度：≤0.01mm
21． Y軸移動(dòng)行程：13mm ±12.5mm
22． Y軸控制精度：≤0.01mm
23． Z軸移動(dòng)行程：13mm ±12.5mm
24． Z軸控制精度：≤0.01mm
25． 顯微鏡類(lèi)別：物鏡
26． 物鏡倍數(shù)：0.7-4.5倍
27． 工作間距：90mm
28． 相機(jī)：sony 高清
29． 像素：1920※1080像素
30． 圖像接口：VGA
31． LED可調(diào)光源：有
32． 顯示屏：8寸
33． 放大倍數(shù)：19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
四：主要配置
1．1臺(tái) · 真空探針臺(tái)KT-Z1604T-RL
2．1臺(tái) · 工業(yè)CCD
3. 1臺(tái) · 真空泵-8
4. 1個(gè) · PG800真空計(jì)
5. 1臺(tái) · 液氮泵
