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    • THERMOVAC 變送器  真空計 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

    THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地無錫市
    • 更新時間2025-03-18
    • 廠商性質(zhì)代理商
    • 所在地區(qū)無錫市
    • 實名認證已認證
    • 產(chǎn)品數(shù)量182
    • 人氣值1582
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    1、真空機組系統(tǒng)的設(shè)計、組裝:

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    安博元科技無錫有限公司

      

     

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    說明nbsp;nbsp;TTR 911 N nbsp;THERMOVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1000 毫巴的較大測量范圍,基于對nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。nbsp;nbsp;配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口nbsp;(P/N: 89660V02) 或nbsp;EtherCAT 數(shù)字通信接口nb......
    THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC 產(chǎn)品詳情

    說明

    TTR 911 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 1000 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。

    配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89660V02) EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù),并可提供實時壓力測量結(jié)果。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情,請參閱第 6.4 章。

    TTR 911 N THERMOVAC 變送器用途廣泛,可用作獨立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) Display 控制器 (P/N: 230001、230024230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display Center 控制器。

    每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。

    變送器擁有多達三個機械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,用于獲取壓力讀數(shù),或進行壓力控制。

    傳感器技術(shù)

    變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件,元件測量基于熱傳導(dǎo)性。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散,氣體分子只到達熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

    應(yīng)用

    變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

    · 一般真空壓力測量

    · 前級管道和粗抽壓力測量

    · 氣體回填測量和控制

    · 質(zhì)譜儀控制

    · 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)

    · 系統(tǒng)過程控制

    · 檢測異常壓力,利用繼電器設(shè)定點采取妥當?shù)陌踩胧?/span>

    · 控制系統(tǒng)壓力

    P/N: 89656V02 230701V02 含有 Parylene-HT®涂層傳感器。

    Parylene-HT®是保形涂層,氣體阻隔性,不釋氣。與標準 MEMS Pirani 相比,Parylene-HT®涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片,包括接線。因此,暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT®涂層。 如需更多詳情,請聯(lián)系應(yīng)用支持部門。

    廢棄處理

    TTR 911 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的。


    技術(shù)數(shù)據(jù)

    測量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

    測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 1000 毫巴






    精確度(1) (N2):

    5×10-4 1x10-3 毫巴:

    誤差是讀數(shù)的

    ±10%



    1×10-3 100 毫巴:

    誤差是讀數(shù)的

    ±5%



    100 1000 毫巴:

    誤差是讀數(shù)的

    ±25%



    重復(fù)性(1) (N2):

    1×10-3 100 毫巴:

    誤差是讀數(shù)的

    ±2%



    電源電壓:

    9-30 伏直流


    功耗:

    < 1.2


    熔絲 (熱可恢復(fù)):

    200 毫安


    模擬輸出 (100 歐阻抗):

    0.61-10 伏直流,Log. 1.286 伏直流/十進制


    模擬輸出分辨率:

    16


    模擬輸出更新率:

    16 赫茲


    傳感器故障,模擬輸出:

    0.5





    材料暴露于真空(2):



    P/N: 89654V02、89660V02、230700V02:

    304 號不銹鋼、密封材料 FPM


    P/N: 89656V02、230701V02:

    304 號不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT®





    機械設(shè)定點繼電器:



    P/N: 89660V02:

    3


    P/N: 89654V02、89656V02:

    2





    設(shè)定點繼電器范圍:

    2×10-4 1000 毫巴


    設(shè)定點繼電器觸點額定值:

    1 /30 伏直流/交流 (電阻性負載)


    設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間:

    < 100 毫秒


    設(shè)定點繼電器觸點電阻:

    100 毫歐 ()


    設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

    100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負載)


    設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

    2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)





    軟件設(shè)定點繼電器:



    P/N: 230700V02、230701V02:

    2



    數(shù)字接口循環(huán)時間

    1 毫秒



    內(nèi)部容積:

    KF16:

    2.80 厘米3





    外殼材質(zhì):

    304 號不銹鋼



    重量:



    P/N: 89654V0289656V02:

    292


    P/N: 89660V2:

    168


    P/N: 230700V02230701V02:

    338



    允許壓力:

    6


    運行溫度:

    0 40 °C (32 104 °F)


    烘烤溫度 (電源關(guān)閉):

    85 °C (185 °F)


    燈絲溫度:

    超過室溫 35 °C


    異物防護等級:

    IP40


    泄漏速率:

    < 5?0-9 毫巴?/


    (1) 精確度和重復(fù)性數(shù)值是零位調(diào)整后在室溫氮氣氛下測得的典型數(shù)值。

    (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表,請聯(lián)系LEYBOLD。


    Parylene-HT®Specialty Coating Systems, Inc 的商標。


    配件和備件編號


    零件

    產(chǎn)品號

    TTR 911 N,DN16 KF,Display,2SP

    89654V02

    TTR 916 N C,DN16 KF,Display2SP

    89656V02

    TTR 911 NDN16 KF,RS232

    89660V02

    TTR 911 N,DN16 KFEtherCat

    230700V02

    TTR 911 N CDN16 KF,EtherCat

    230701V02

    備用傳感器 TTR 911 N/TTR 916 N,DN16 KF

    230650V02

    備用傳感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C,DN16 KF

    230651V02



    Display 1

    230001

    Display 2

    230024

    Display 3

    230025



    Graphix 1

    230680V01

    Graphix 2

    230681V01

    Graphix 3

    230682V01



    A 型電纜,5

    12426

    A 型電纜,10

    230012

    A 型電纜,15

    12427

    A 型電纜,20

    12428

    A 型電纜,30

    12429

    A 型電纜,50

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