THERMOVAC 變送器 真空計 TTR 101 N 、TTR 101 N S

變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和涂料工業中:

· 真空鎖壓力控制

· 一般真空壓力測量

· 前級管道和粗抽壓力測量

· 氣體回填測量和控制

· 質譜儀控制

· 啟動超高真空電離 (UHV) 規

· 系統過程控制

· 檢測異常壓力，利用設定點繼電器采取妥當的安全措施

· 控制系統壓力

技術數據

測量原理: 熱傳導性依據 MEMS Pirani 傳感器而定

壓電傳感器中硅膜的機械偏轉

P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:

測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數的 ±10%

1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數的 ±5%

11 至 1333 毫巴: 誤差是讀數的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數的 ±2%

重復性 (1) (N2): 1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數的 ±2%

11 至 1067 毫巴: 誤差是讀數的 ±0.2%

P/N: 230366V02、230702V02:

測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): MEMS Pirani: 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數的 ±10%

1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數的 ±5%

100 至 1000 毫巴: 誤差是讀數的 ±25%

壓電值: 0.1 至 10 毫巴: 誤差是讀數的 ±1% ±0.5 毫巴

10 至 1333 毫巴: 誤差是讀數的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數的 ±2%

重復性 (1) (N2): MEMS Pirani: 1x10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數的 ±2%

壓電值: 10 至 1067 毫巴: 誤差是讀數的 ±0.2%

電源電壓: 9-30 伏直流

功耗: < 1.2 瓦

熔絲 (熱可恢復): 200 毫安

模擬輸出: 0.61-10.23 伏直流，Log 1.286 伏直流/十進制

模擬輸出分辨率: 16 位

模擬輸出阻抗: 100 歐

模擬輸出更新率: 16 赫茲

傳感器故障，模擬輸出: 0 伏

機械設定點繼電器:

P/N: 230350V02、230351V02、230354V02、230355V02: 0

P/N: 230352V02、230353V02、230356V02: 2

P/N: 230366V02: 3

設定點繼電器范圍: 2×10-4 至 1300 毫巴

設定點繼電器觸點額定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (電阻性負載) 設定點繼電器響應時間: < 100 毫秒 設定點繼電器觸點電阻: 100 毫歐 (值) 設定點繼電器觸點耐久性: 100000 循環 (最小值) (30 伏直流/1 安負載)

設定點繼電器觸點耐久性: 2000000 循環 (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載)

軟件設定點繼電器:

P/N: 230702V02: 2

響應時間: < 20 毫秒

數字接口循環時間: 1 毫秒

暴露在真空中的材料 (2): 304 號不銹鋼，密封材料 FPM

內部容積: KF16 法蘭 2.8 厘米3

NPT 1/8” 3.1 厘米3

外殼材質: 304 號不銹鋼

法蘭材質: 304 號不銹鋼

重量:

P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168 克

P/N: 230351V02、230353V023: 183 克

P/N: 230354V02、230356V02: 292 克

P/N: 230355V02: 307 克

P/N: 230702V02: 338 克

允許壓力: 3 巴

運行溫度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤溫度 (電源關閉): 85 °C (185 °F)

燈絲溫度: 超過室溫 35 °C

濕度: 0 – 95% 非冷凝

異物防護等級: IP40

泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?升/秒

(1) 精確度和重復性是零位調整后在室溫氮氣氛下測得的典型數值。 (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請聯系 Leybold。