當Orifice的下游壓力與上游壓力之比小于 0.528 時,通過小孔處的流量為恒定值。
一般使用時,需要保證上游使用HEPA過濾器保護,下游的真空源需要能滿足達到極限條件所需的真空度。
在一些特殊的場合,當所需流量很大時,如流量為10LPM,此時對于下游泵的能力要求就很高,需要在保證泵的真空度在(1-0.528)atm以上的同時保證10LPM的抽吸能力。如果你不是很確定是否可以滿足需求,可以查看使用的泵的壓力流量曲線。
材質:SS316或黃銅材質
外徑:1/4英寸
最小流量:0.1 sLPM
其它需求可聯系我司定制。
