產品介紹
AccuFiz干涉儀特別設計為實現(xiàn)樣品表面中高頻率特征測試的高分辨菲索干涉儀，光學系統(tǒng)優(yōu)化設計，實現(xiàn)了高傳函，低噪聲；同時AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動態(tài)相移干涉技術上的成功經驗，沿用其核心算法，采用動態(tài)載波相移技術，可在氣流擾動和振動條件下實現(xiàn)高精度測量，這一技術使得AccuFiz可以解決大部分的動態(tài)測量問題。
AccuFiz干涉儀是一款緊湊、輕巧的菲索干涉儀，可以滿足多樣的測量需求。
常規(guī)屬性
系統(tǒng)結構：菲索型干涉儀
采集模式：機械相移式，動態(tài)載波相移式
工作波段：1550nm（SWIR）穩(wěn)頻激光器
光 源：光源尺寸連續(xù)可調，降低相干噪聲
光束口徑：標準4英寸；其他定制
相機像素：500 x 500 pixels，12bit；>30幀/秒 顯示
變倍：1-10X Smart ZoomTM
外形尺寸：4英寸： 51.4 x 23.8 x 20.3 cm
重量：4英寸：13.6kg
系統(tǒng)性能
RMS重復性：<0.0001 waves RMS*
RMS精密度：0.001 waves RMS*
樣品反射率：1-99%（需衰減）
*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均
**采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結果
