4D公司的大口徑相移干涉儀，采用AccuFiz高分辨菲索干涉儀做為主機，擴束器設計緊湊，內(nèi)部采用碳纖維支撐結構，最小化熱靈敏度，保證長時間運行的穩(wěn)定性。主機置于定位支架上，可以簡單、快速、精確定位主機相對于擴束器的位置。能夠輕松將AccuFiz主機取下來當做100mm口徑干涉儀使用，進行獨立的平面與球面測量。
分體式設計，使得干涉儀方便移動。具有如下特點：
- 高傳函低噪聲主機，清晰看到樣品中高頻特征
- 碳纖維支撐結構擴束器，最小化熱靈敏度
- 短相干光源擴展模塊，直接測量平行平面面形
- 采集模式：機械相移，載波動態(tài)相
- 出光口徑：300mm，或450mm，或600mm
- 工作波段：632.8nm，可選1053nm, 1064nm
- 主機：AccuFiz-E100S或AccuFiz-H100S
相機像素：1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels， 12bit
- 機械相移測量重復性 0.6nm RMS
- 系統(tǒng)長期穩(wěn)定性 < 2.2nm RMS
- Tip/Tilt Mount
光學口徑：300mm，或450mm，或600mm
Tip/Tilt：±3o
旋轉：360o連續(xù)懸掛式
- Phase-Shlfting Tip/Tilt Mount
光學口徑：300mm，或450mm，或600mm
旋轉：360o連續(xù)懸掛式
相移器：與干涉儀主機通過以太口相連，相移精度與4”口徑無差別
- 參考鏡和反射鏡
裝夾：封裝在兩維支架內(nèi)或者吊索安裝在結構件中
波前精度：λ/20或λ/10
參考平面鏡鍍膜：4%或20% (standard is uncoated both sides, attenuation coated has reflectance coatings and uncoated on the back)
反射鏡鍍膜：4% (uncoated one side, fine ground back side)
