產(chǎn)品特點(diǎn)
u 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面，自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)，20個(gè)配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。
u PLC工控機(jī)控制整個(gè)去膠過(guò)程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
u 石英真空艙，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無(wú)污染。
u 可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。
u 采用花灑式多孔道進(jìn)氣方式，改變單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。
u 采用防腐數(shù)字流量計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?/span>、氫氣或混合氣等氣體。
u HEPA高效過(guò)濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
u 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。
u 樣品處理溫度低，無(wú)熱損傷和熱氧化。
u 安全保護(hù)，艙門(mén)打開(kāi)，自動(dòng)關(guān)閉電源，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 5系列 | 5plus系列 |
艙體尺寸 | D300xΦ150mm | D300xΦ150mm |
艙體容積 | 5.2L | 5.2L |
艙體材質(zhì) | 石英玻璃 | 石英玻璃 |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 |
激發(fā)方式 | 電感耦合（ICP） | 電感耦合（ICP） |
射頻功率 | 10-1000W可調(diào) | 10-300W可調(diào)（可選10-600W） |
處理尺寸 | Φ150m | Φ150m |
氣體控制 | 質(zhì)量流量計(jì)（MFC）（標(biāo)配單路，可選雙路）流量范圍0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?或其他混合氣體等（可選） | |
時(shí)間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1分鐘 | |
極限真空 | ≤1Pa | |
產(chǎn)品尺寸 | L550xW550xH420mm | |
包裝尺寸 | L650xW610xH620mm | |
電源 | AC220V 50/60Hz，1152/452(752)W所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 | |
整機(jī)重量 | 52kg | |
