PGI Optics測量儀器是一種觸針式光學(xué)輪廓儀，它可以測量塑料透鏡、球面、非球面、自由曲面、紅外玻璃和晶體，以及直徑達(dá)
300mm的衍射表面的粗糙度和形狀。PGI利用短測針來測量大尺寸的透鏡，實現(xiàn)高精度的測量。
技術(shù)參數(shù)
| X軸（水平）性能 | ||
| 驅(qū)動長度-X/最小 | 200mm/0.1mm | |
| 測量速度 | 0.1mm/s至13mm/s | |
| 驅(qū)動速度 | 可達(dá)13mm/s | |
| X軸數(shù)據(jù)采樣間隔 | 長度為200mm時0.125μm | |
| Z軸（垂直）性能 | ||
| 可使用高度 | 190mm | |
| 定位速度 | 0.25mm/s至10mm/s | |
| 傳感器 | ||
| 標(biāo)稱傳感器量程（Z）（驅(qū)動箱在0°狀態(tài)） | 長測桿長度60mm | 14mm |
| 長測桿長度120mm | 28mm | |
| 分辨率 | 0.8nm @ 14mm量程 | |
| 測針桿部長度、針尖尺寸、測力 | 60mm測桿、2μm半徑錐球形鉆石針尖、1mN接觸力 | |
| 系統(tǒng)性能 | ||
| 形狀誤差-Pt（球校準(zhǔn)半徑誤差） | 100nm @ 22mm 通常小于60nm @ 22mm | |
| 半徑測量不確定性 | 0.1mm-80mm=1%-0.005%標(biāo)稱值 80mm-1000mm=0.005%-0.1%標(biāo)稱值 1000mm-2000mm=0.1%標(biāo)稱值 | |
| 測量能力 | ||
| 工件直徑 | 300mm | |
| 工件髙度 | 190mm | |
| 工件重量 | 10Kg | |
