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激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度 Pv 高達 0.06μm 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

大口徑波長移相激光干涉儀產品詳情

大口徑波長移相激光干涉儀

激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度 Pv 高達 0.06μm 甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

應用

廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

特點

--準確測量大口徑的光學元件的透射波前、反射波前。
--測量精度和測量重復性能媲美美國 Zygo 和 4D 干涉儀。
--根據客戶要求定制開發。

主要技術指標

關鍵詞：激光干涉儀

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