MFM 系列熱式質(zhì)量流量計(jì)和MFC 系列熱式質(zhì)量流量控制器為多功能產(chǎn)品，該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)易于使用，方便進(jìn)行流量檢測(cè)與控制。本類產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)工作壓力為500psig，標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定時(shí)采用空氣、氦氣、氫氣、二氧化碳，其他氣體標(biāo)定可按要求進(jìn)行。
所有流量計(jì)和控制器均由316L不銹鋼棒料制造，可用流量范圍從0-10sccm到0-20lpm，其精度可高達(dá)±1%滿刻度。并且每臺(tái)儀器都可提供可追溯的NIST標(biāo)定證書。電路設(shè)計(jì)可以抗高射頻干擾，且響應(yīng)速度很快，從而確保性能可靠和精度。
特點(diǎn)
• 全量程±1%精度
• 經(jīng)過驗(yàn)證的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校準(zhǔn)
應(yīng)用
• 泄漏測(cè)試
• 醫(yī)療研究
• 氣象淀積
• 研發(fā)和工藝流程
• 半導(dǎo)體制程
• 污染檢測(cè)
• 氣體混合
• 色譜分析
技術(shù)指標(biāo)
MFM 200 精確度1 和線性度 ±1% 量程 重復(fù)精度 ±0.05% 量程 標(biāo)準(zhǔn)額定壓力 500 psig 壓力系數(shù) 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 ) 整體泄漏率 <1x10-9 sccs 溫度系數(shù) 3 零 ±0.035% 量程/°C (0-60°C) 量程 ±0.05%讀數(shù)/°C (0-60°C) 標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 0°C和760托 電源 ±15 VDC @ ±25 mA 流量信號(hào) (本征線性) 0-5VDC 接觸介質(zhì)的材料 316 SS, Viton®, 82/18 Au/Ni 釬焊,
微量銀焊接 連接器 15針微型 D 接頭 1/4" 和 1/8" 卡套 重量
1.8 lb (0.82 kg)
選型表
MFM-200訂貨號(hào) 流量范圍 1/4"卡套 1/8"卡套 MFM-200-2-10 0-10 SCCM ⊙ MFM-200-2-100 0-100 SCCM ⊙ MFM-200-2-500 0-500 SCCM ⊙ MFM-200-2-1000 0-1000 SCCM ⊙ MFM-200-4-3L 0-3 SLM ⊙ MFM-200-4-5L 0-5 SLM ⊙ MFM-200-4-10L 0-10 SLM ⊙ MFM-200-4-20L 0-20 SLM ⊙
