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    • 全自動型原子力顯微鏡-AFM5500M

    全自動型原子力顯微鏡-AFM5500M

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地廣州市
    • 更新時間2023-12-03
    • 廠商性質其他
    • 所在地區廣州市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量245
    • 人氣值923
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    廣州市君翔自動化控制設備有限公司成立于2006年,公司代理品牌有:日本、日立科學儀器和日本三豐等品牌。公司是新能源電池、電子元器件、半導體、材料、汽車、家電等行業優秀的儀器儀表集成供應商和項目方案提供商。我司代理的日本品牌的電子測試儀器給新能源電池生產廠家、電子元器件生產廠家及其產線設備商提供高性價比產線品質檢測儀器;日立分析儀器給材料、電子、食品醫藥客戶提供實驗室可靠的研發分析儀器;三豐測量設備在半導體和汽車零部件中的精密器件測量中有著非常廣泛的應用。君翔公司在新能源電池、電子元器件、汽車、半導體、材料、家電行業深耕多年,成為了一個專業的儀器儀表集成供應商,積累了豐富的儀器廠家資源和渠道。公司代理國外儀器品牌多年積累了雄厚的技術實力和銷售經驗,愿君翔能有幸與更多的客戶合作。
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    全自動型原子力顯微鏡-AFM5500M 產品詳情
    AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站選配項:SEM-AFM聯用系統大范圍水平掃描采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。AFM5500M搭載了研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。高精角度測量普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
  • SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

    AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。



    參數規格:


    AFM5500M 主機

    馬達臺自動精密馬達臺
    **觀察范圍:100 mm (4英寸)全域
    馬達臺移動范圍:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
    最小步距:XY 2 µm、Z 0.04   µm
    **樣品尺寸直徑:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
    樣品重量:2 kg
    掃描范圍200 µm x 200 µm x 15 µm (XY:閉環控制 / Z:感應器監控)
    RMS噪音水平*0.04 nm 以下(高分辨率模式)
    復位精度*XY: ≤15 nm(3σ、計量10   μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度)
    XY直角度±0.5°
    BOW*2 nm/50 µm 以下
    檢測方式激光檢測(低干涉光學系統)
    光學顯微鏡放大倍率:x1 ~ x7
    視野范圍:910 µm x 650 µm ~ 130 µm x 90 µm
    顯示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸顯示器)
    減震臺臺式主動減震臺 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、約28 kg
    防音罩750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
    大小?重量400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、約 90 kg


    • * 參數與設備配置及放置環境相關。

    OSWindows7
    RealTune®II自動調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋
    操作畫面操作導航功能、多窗口顯示功能(測試/分析)、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能
    X, Y, Z掃描驅動電壓0~150 V
    時時測試(像素點)4畫面(**2,048 x 2,048)
    2畫面(**4,096 x 4,096)
    長方形掃描2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
    分析軟件3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
    自動控制功能自動更換懸臂、自動激光對中
    大小?重量340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、約 34 kg
    電源AC100 ~ 240 V ±10% 交流
    測試模式標配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 選配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
    • * WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標。

    • * RealTune是日立高新科學公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標。

    可適用的日立SEM型號SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
    樣品臺大小41 mm(W) x 28 mm(D) x   16 mm (H)
    **樣品尺寸Φ20 mm x 7 mm
    對中精度±10 µm (AFM對中精度)



    產品特點:


    1. 自動化功能

    • 降低檢測中的人為操作誤差


    4英寸自動馬達臺 自動更換懸臂功能
    4英寸自動馬達臺 自動更換懸臂功能



    2. 可靠性

    排除機械原因造成的誤差


    Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

    Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate


    Textured-structure solar battery

    Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

    • * 使用AFM5100N(開環控制)時

    3. 融合性

    親密融合其他檢測分析方式

    通過SEM-AFM的共享坐標樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。

    Correlative AFM and SEM Imaging

    SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2

    The ovrlay images createed

    The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

    上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。

    • 石墨烯層數不同導致表面電位(功函數)的反差。


    今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯用。




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